
在固化过程中保持晶圆洁净无尘
如果您在100级洁净室中工作,那您应该很清楚:这里容不得半点失误。哪怕有一丁点儿灰尘或加热元件产生的气体,整个批次的晶圆都可能报废。这真是个噩梦。 正因如此,我们不再使用普通材料,而是改用高纯度的合成石英来制造红外线灯和反射器。
为什么石英如此重要
便宜的玻璃或低品质的石英根本无法承受高温。当受到强烈的热循环作用时,其中的杂质会开始分解,从而产生有害的挥发性有机化合物,同时还会让灯具表面出现“雾状”现象。 而我们的高纯度石英则不会出现问题。它能够承受剧烈的温度变化,不会出现裂纹或脱落颗粒的情况。这样,灯具就能保持洁净,晶圆也能保持干净。
确保热量准确传递到所需位置
如果反射器质量不好,那么灯具就毫无用处。我们花了大量时间来优化灯具的几何结构,确保热量能够精确地传递到晶圆表面。 由于能量得到有效集中,因此可以达到更高的固化温度。此外, HVAC系统也不需要过度工作来为房间降温。 不过需要注意的是,这种高度集中的能量会导致灯具外壳变得非常热。请确保冷却风扇能够正常工作,否则可能会导致插座熔化或电线断裂。
安装与保持清洁
我们尽量缩小产品的尺寸,使其可以直接替换现有的灯具,无需拆掉整个电路中的电线。 为了实现真正的“零污染”,我们放弃了使用胶水及廉价塑料。所有部件都是通过焊接或机械方式固定在一起的。 最后一点提示:更换灯具时,请勿用裸手触摸石英表面。皮肤上的油脂会附着在石英表面,从而造成局部过热,进而加速灯具的损坏。请使用无纺布手套来操作,这样才能保持石英表面的清洁。