V procesu litografie záleží na přesnosti teploty. Odchylka o 2 °C během měkkého vysoušení může narušit kontrolu rozměrů čipů. Nekonzistentní zahřívání zase způsobuje nerovnoměrnost povrchu čipů. Proto jsme vyvinuli ohřívač na bázi uhlíkových nanotrubic, který eliminuje potřebu odhadování teploty při sušení čipů, předváření fotorezistu a jeho definitivním zahřátí.
Co je důležité pod kapotou Ohřívač využívá uhlíkové nanotrubice k přenosu rychlé a stabilní infračervené energie. Udržuje tak konzistenci teploty na úrovni ±0,1 °C. Reakce ohřívače je rychlá – teplota se tedy nevyhýbe požadované hodnotě. Tenké filmy zůstávají chráněny a energetická efektivita zůstává vysoká. Ohřívač je vhodný pro použití v čistých prostorách tříd 1–100. Během provozu nevytváří žádné částice a prokázal si spolehlivost 24/7 v výrobních jednotkách. Výkon ohřívače zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s poklesem méně než 5 % – takže je možné dosáhnout repeatability mezi jednotlivými sériemi výrobků.
Jak to vypadá v praxi Měkké vysoušení zajišťuje konzistentní profile fotorezistu. Definitivní zahřívání je také konzistentní. Čipy vycházejí suché a procházejí inspekcí bez nutnosti oprav. Přesná kontrola teploty snižuje dobu čekání na vyhřátí, snižuje množství odpadu a šetří energii – teplo je totiž směrováno tam, kde je potřeba. Díky tomu se zkracují cykly výroby, aniž by došlo ke ztrátě stability rozměrů čipů. Navíc není potřeba často měnit ohřívače – tento systém založený na uhlíkových nanotrubicích vydrží dlouhodobý provoz bez ztráty vlastností.
Několik praktických tipů Je potřeba sladit napětí a konektorové rozhraní zařízení. Optická zarovnání je také důležité pro zachování konzistence intenzity záření na celém povrchu čipu. Ohřívač funguje nejlépe, když je komora uzavřená – vnější proudy vzduchu mohou způsobit drobné změny teploty. Plánujte krátký testovací provoz, abyste nastavili správné hodnoty teploty pro vaše specifické typy fotorezistu.