Jak se zbavit ozónu při zpracování polovodičů
Při výrobě polovodičů není „čistota“ jen preferencí – je to základní požadavek. Vaše procesy sušení a zpracování musí nechat naprosto nic za sebou. Žádné zbytky, žádné chemikálie, vůbec nic.
Problém spočívá v tom, že mnoho starých metod zahřevu prostě nedokáže splnit dnešní ekologické a bezolovnaté standardy. Právě tu přicházejí na pomoc naše infračervené lampy bez ozónu.
Problém s „standardními“ infračervenými lampami
Standardní krátkovlnné infračervené lampy vydávají záření v rozsahu 185 nm až 250 nm. Když toto záření dopadne na kyslík ve vzduchu, vzniká ozón.
V čisté místnosti je ozón noční můrou. Jedná se o kontaminant, který ničí citlivé součástky a způsobuje nepříjemný – dokonce nebezpečný – prostředí pro lidi, kteří tam pracují.
Tento problém jsme vyřešili použitím speciálního křemičitého obalu s selektivním filtračním povlakem. Lze to považovat za „štít“, který blokuje spektrum VUV (to, co způsobuje vznik ozónu), ale umožňuje průchod tepelné energie. Dostanete tak veškeré teplo potřebné, ale bez jakýchkoli chemických zplodin.
Instalace do vašeho zařízení
Tyto lampy dokážou vytvořit velké množství tepla v malém prostoru. Jelikož energie putuje prostřednictvím záření, neplatíte peníze za zahřívání celé komory. Teplo působí přímo na substrát. To je obrovská výhoda z hlediska nákladů na energii.
Ale pozor: sledujte hustotu napětí. Pokud použijete lampy s vysokým výkonem, aby se proces zrychlil, bude to velmi horké. Ujistěte se, že vaše chladicí ventilační systémy dokážou zvládnout takové zatížení. Pokud ne, hrozí prasknutí křemíku nebo roztavení konektorů – a nikdo nechce mít s tím problémy v úterý ráno.
Reálné využití
Vidíme, že lidé nahrazují své staré konvekční trouby těmito lampami při zpracovávání pájecích fólií nebo fotorezistentů. Je to jednoduchá výměna. Nemusíte instalovat nákladné ventilace, abyste odstranili ozón z vzduchu. Stačí lampy zapojit, nastavit čas zahřevu a substrát dosáhne správné teploty během sekund.
Je to čistší, rychlejší a navíc odpovídá globálním ekologickým standardům, aniž by to zkomplikovalo váš každodenní život.