Udržování vysoce čistého zahřívání waferu
Když pracujete v čisté místnosti třídy 100, neexistuje prostor pro chyby. Jeden malý kousek prachu nebo trocha plynů uvolňovaných z topného prvku může vážně poškodit výsledky vaší práce. Je to noční můra.
Proto jsme přestali používat běžné materiály a nahradili je vysoce čistým syntetickým křemenem pro naše IR lampy.
Proč je křemen opravdu důležitý
Většina skla prostě nevyhovuje – praská pod vlivem teplotních šoků, nebo není dostatečně čistá pro práci s polovodiči. My používáme spálený křemen s nízkým obsahem hydroxylů (OH).
To znamená, že lampa během zahřívání a ochlazování neuvolňuje mikroskopické částice křemíku. Navíc křemenná obálka vytváří pevné, hermetické uzavření. Wolframová vlákna zůstávají na svém místě, daleko od prostředí, ve kterém probíhá proces.
Teplo tam, kde potřebujete (a nikde jinde)
Naše IR lampy soustředí energii do velmi úzkého spektrálního pásma. To je ta nejlepší věc – můžete dosáhnout požadovaných teplot na povrchu waferu, aniž by celá lampa fungovala jako pec.
Nastartování lampy je rychlé – opravdu rychlé.
Ale je tu jeden problém – protože teplo je tak koncentrované, musíte správně nastavit systém chlazení. Pokud je průtok vzduchu špatný, může dojít k poškození lampy nebo senzorů. Je to kompromis, ale za rychlost stojí za to.
Žádný lepidlo, žádné úlomky, žádné problémy
Tyto lampy jsou navrženy tak, aby se daly jednoduše nahradit. Víme, že doba výpadku je nepřítelem, proto jsme je udělali tak, aby se daly snadno vyměnit.
Také jsme se vyhnuli lepidlům a povlakům. Proč? Protože ty se nakonec odchlípnou. Místo toho používáme mechanické uzávěry, které zůstávají pevné i v podmínkách vakuua nebo kontrolované atmosféry. Je to jednoduché, mechanické a čisté řešení.
Upozornění
Mějte na paměti, že vysoce čistý křemen je křehký. Dokáže snést extrémní teploty, ale nerad je vystaven otřesům.
Pokud nebudou upevňovací prvky dampingovány, lampa se může vibracemi rozbít. A jakmile dojde k poškození vakuumového uzávěru, vlákna v lampě okamžitě shoří. Udržujte lampu stabilní a budete spokojeni.