V provozu není porucha nástroje jen otázkou údržby – znamená to také snížení výkonu a narušení harmonogramu práce. Když potřebuje modul na zahřívání nebo vypalování opravu, nebo když musí být použit jiný zdroj tepla pro další zpracování, může dojít k uvolňování částic a kontaminaci hardwaru. Právě proto jsme vyvinuli naše infračervené ohřívače právě pro takové situace.
Co je z technického hlediska důležité
Používáme krátkovlnné infračervené emitory v quartzovém provedení. Výsledkem je rychlé a cílené zahřívání s přesnou kontrolou teploty. V celé oblasti zahřívání zůstává rovnoměrnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, a opakovatelnost nastavené teploty zůstává v úzkém rozmezí – což je klíčové, pokud je potřeba po opravě znovu nastavit parametry zahřívání fotoresistu.
Tělo ohřívače je vhodné pro použití v prostředích s úrovní čistoty od 1 do 100 – povrchy zabraňují vzniku částic a uvolňování plynů. V praxi to znamená, že můžete provádět opravy a testy bez problémů spojených s částicemi nebo zbytečným plýtváním materiálem.
Proč to funguje tam, kde je to potřeba
Sušení polovodičových destiček, měkké a tvrdé zahřívání fotoresistu, balení a zatvrzování materiálů – to vše vyžaduje přesnou kontrolu teploty. Naše infračervené ohřívače dosahují požadované teploty rychle, takže se zkracuje doba zahřívání a zvyšuje se efektivita práce.
Přesná rovnoměrnost teploty snižuje rozdíly mezi okraji a středem destičky po zahřívání, a stabilní opakovatelnost umožňuje předpovídat výsledky procesů po opravách. Rychlá reakce a nízká tepelná hmotnost snižují spotřebu energie, a dlouhá životnost emitorů umožňuje delší intervaly mezi opravami – méně náhradních dílů, méně změn.
Zde jsou poznámky z praxe
Je důležité správné umístění a zarovnání ohřívače. Ohřívač musí odpovídat geometrii „teplé zóny“ nástroje, a je potřeba zajistit dostatečný prostor, aby se zabránilo vzniku lokálních „horkých míst“. Intenzita výstupního tepla se mění s napětím, proto je potřeba zajistit stabilní napájení – kolísání napětí může vést k nestabilitě teploty.
Dejte si krátký čas na stabilizaci teploty předtím, než nastavíte parametry zahřívání fotoresistu.