In einer 24/7-Nutzungsweise ist der thermische Drift kein theoretisches Problem – es handelt sich dabei um einen Produktionsverlust, den man bereits vorher spürt, noch bevor er auf dem Monitor sichtbar wird. Schon eine kleine Abweichung in der Temperatur kann dazu führen, dass man wiederarbeiten muss. Wir haben daher die dimmbare Halbleiterheizlampe entwickelt, um diese Unregelmäßigkeiten auszuschließen.
Was wirklich wichtig ist
Die Lampe nutzt einen Kurzwellen-Infrarotstrahler, der auf die Absorption des Fotoleits durch das Material abgestimmt ist. Dadurch erfolgt die Reaktion in unter einer Sekunde, und die Regelung bleibt präzise. In der beheizten Zone bleibt die Temperaturkonstanz bei ±0,1°C – das bedeutet, jede Wafer erhält genau die gleiche Wärmebelastung. Die Dimmfunktion ist linear und reproduzierbar, sodass man unterschiedliche Herstellungsprozesse ohne Neujustierung der Heizparameter durchführen kann. Die Lampe eignet sich für den Einsatz in Reinräumen der Klassen 1–100 – außerdem produziert die Lampe keine Partikel. Mit einer Nutzungsdauer von über 5.000 Stunden bei voller Leistungsfähigkeit sowie weniger als 5% Leistungsabfall gibt es keine unerwarteten Ausfälle bei kontinuierlicher Nutzung.
Warum sie in der Praxis erfolgreich ist
In der Lithografie bestimmen die Soft-Baking- und Hard-Baking-Prozesse das Temperaturprofil, dem alles andere folgen muss. Mit dieser Lampe kann man die Temperatur des Fotoleits genau auf dem gewünschten Niveau halten, wodurch unnötige Nachbearbeitungen vermieden werden. Derselbe Kontrollmechanismus hilft auch beim Reinigen und Trocknen der Wafer – hier macht eine kontrollierte Erhitzung den Unterschied zwischen sauberen Wafern und solchen, die nur annähernd sauber sind. Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe nur das Zielobjekt erwärmt, nicht den Rahmen drumherum. Die lange Lebensdauer bedeutet weniger Wartungsarbeiten sowie eine konstante Qualität von Batch zu Batch.
Was man beachten muss
Um die Lampe optimal einzusetzen, muss man auf die Befestigungsmöglichkeiten sowie die PID-Regelung des Controllers achten. Für beste Ergebnisse sollte die Lampe exakt auf der Ebene der Wafer ausgerichtet werden – liegt sie außerhalb dieses Bereichs, nimmt die Temperaturstabilität ab. Planen Sie die Installation so, dass Sie die Lampe leicht warten können, ohne dabei den optischen Weg oder den Luftstrom im Reinraum zu stören.