In der Fertigungshalle legen die Temperaturen für das Weich- und Hartbacken nicht nur den Rahmen fest – sie bestimmen auch die Dicke der Schichten auf den Wafern. Schon eine Abweichung von 0,5 °C führt dazu, dass sich die Eigenschaften der CDs verändern. Wenn außerdem während der Betriebszyklen Partikel entstehen, sinkt die Produktivität weiter.
Was man braucht, ist eine Wärmequelle, die zuverlässig und sauber funktioniert und direkt in die bereits vorhandenen Geräte eingebaut werden kann – ohne dass die gesamte Anlage neu kalibriert werden muss.
Wir liefern Halbleiterlampen, die perfekt auf die thermischen und elektrischen Anforderungen internationaler Geräte abgestimmt sind. Dadurch erhält man ein qualitativ hochwertiges Ersatzprodukt. Die Kurven für Kurzwellen- und Mittelwellenbeleuchtung sind so gestaltet, dass eine gleichmäßige Temperatur über die gesamte Fläche der Wafer gewährleistet wird – mit einer Abweichung von ±0,1 °C während der kritischen Backschritte.
Quarzkörper und Halogenelemente sorgen für eine schnelle Erhitzung sowie eine stabile Ausgangsleistung. Dadurch bleibt das thermische Gleichgewicht gewahrt, während empfindliche Schichten geschützt werden. Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klassen 1–100 ist selbstverständlich gegeben. Zudem wird durch Kontrollen während des Einschaltvorgangs sowie während des Abkühlvorgangs eine Null-Partikel-Produktion gewährleistet. Der Treiber ist für einen 24/7-Betrieb konzipiert; die Lebensdauer beträgt mehr als 5.000 Stunden, bei einer Leistungseinbuße von weniger als 5%.
In der Lithografie und beim Verarbeiten von Fotolacken ist die Temperaturschärfe entscheidend für die Produktivität und die Durchlaufzeit. Diese Lampen stabilisieren die Backkurve, verbessern die Wiederholgenauigkeit zwischen verschiedenen Chargen und reduzieren Abweichungen, die durch Alterung der Lampen oder thermische Schwankungen entstehen können.
Man kann weiterhin dieselben Prozessparameter und Werkzeuge verwenden – außerdem lässt sich durch effizientes und schnelles Erwärmen der Energieverbrauch senken. Zuverlässigkeit bedeutet weniger unerwartete Stopps und Wartungsarbeiten, die planbar sind.
Die Installation erfolgt per Steckverbindung mit Standardlampeinsätzen und Treibern. Dennoch sollte man Voltzahl, Steckertyp sowie mechanische Abstände im Einklang mit den Anforderungen des jeweiligen Geräts überprüfen. Einige ältere Geräte benötigen eine Firmware-Kalibrierung für die Strahlintensitätsmessung – wir stellen hierfür die notwendigen Verfahren zur Verfügung.
Ein Betrieb unterhalb der Nennspannung kann die Lebensdauer der Lampe verlängern – doch er kann auch die Backzeit verlängern. Die Kurve sollte daher an die Anforderungen des Fotolacks angepasst werden.