حفظ تمیزی کامل در حین گرم کردن ویفرها
وقتی که در یک اتاق خالی با سطح پاکیزگی کلاس ۱۰۰ کار میکنید، هیچ جایی برای اشتباه وجود ندارد. حتی یک ذره گرد و غبار یا مقدار کمی گاز ناشی از عنصر گرمایشی، میتواند باعث کاهش کیفیت کار شود. این وضعیت واقعاً فاجعهبار است.
به همین دلیل، ما دیگر از مواد استاندارد استفاده نکردیم و به جای آن، از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز خود استفاده کردیم.
چرا کوارتز اهمیت دارد؟
بیشتر شیشهها نمیتوانند در برابر گرما مقاومت کنند؛ یا ترک میخورند یا خلوص کافی برای استفاده در فرآیندهای نیمههادی ندارند. ما از کوارتز با میزان کمی هیدروکسیل (OH) استفاده میکنیم.
در واقع، این بدان معناست که لامپ در حین گرم شدن و سرد شدن، هیچ ذره ریزی از سیلیکا تولید نخواهد کرد. علاوه بر این، پوشش کوارتز، سیستمی بسته و بینقص ایجاد میکند؛ در نتیجه، فیلامنت تنگستن نیز در جای مناسب خود باقی میماند، دور از محیط کاری.
گرما در جای مناسب (و جای دیگری نه!)
لامپهای مادون قرمز ما، انرژی را در یک باند طیفی بسیار باریک متمرکز میکنند. این بهترین ویژگی این لامپهاست؛ شما میتوانید دمای مورد نظر را روی سطح ویفر به دست آورید، بدون اینکه کل بدنه لامپ به یک فر تبدیل شود.
فرآیند گرم شدن لامپ نیز بسیار سریع است.
اما مشکل اینجاست که چون گرما بسیار متمرکز است، باید سیستم خنککننده لامپ را به درستی تنظیم کنید. اگر جریان هوا مناسب نباشد، ممکن است بدنه لامپ تخریب شود یا سنسورها آسیب ببینند. این یک توازن است، اما برای سرعت، ارزشش را دارد.
بدون چسب، بدون ذرات، بدون مشکل
ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین کرد. ما میدانیم که توقف کار، دشمن اصلی است؛ بنابراین این لامپها را طوری طراحی کردهایم که جایگزینی آنها آسان باشد.
همچنین، از چسبها و رزینها استفاده نکردهایم. چرا؟ چون این مواد در نهایت از بین میروند. در عوض، از سیستمهای مکانیکی برای بسته نگه داشتن لامپ استفاده کردهایم؛ این روش ساده، مکانیکی و بدون مشکل است.
هشداری لازم
باید به یاد داشته باشید که کوارتز با خلوص بالا، شکننده است. این ماده میتواند در برابر گرمای شدید مقاومت کند، اما از تکان خوردن متنفر است.
اگر محل نصب لامپ مناسب نباشد، لامپ ممکن است در برابر فریم تکان بخورد و در نتیجه خراب شود. وقتی که سیستم بستهبندی لامپ از بین برود، فیلامنت لامپ نیز در عرض چند ثانیه خراب خواهد شد. لامپ را در جای ثابتی نگه دارید تا عملکرد خوبی داشته باشد.