در بخش مربوط به شستشوی ویفرها، وجود آب یا گرمای نامتوازن، مشکل کوچکی نیست؛ بلکه این موضوع میتواند منجر به تجمع ذرات و خطاهای اندازهگیری شود. لازم است که گرمای لازم به سرعت ایجاد شده، سطح را کاملاً خشک کند و این فرآیند بدون بازگرداندن رطوبت یا ذرات به جریان آب تکرار شود.
چه چیزهایی مهم هستند؟
ما لامپ مادون قرمز ضدآب را برای مرحله شستشو طراحی کردهایم؛ این لامپ از نوع مادون قرمز با طول موج کوتاه است؛ دارای پوشش کوارتزی، فیلامنت هالوژنی، پاسخگویی سریع و خروجی پایدار است. باید طول موجی انتخاب کرد که آب بتواند آن را به خوبی جذب کند؛ در این صورت، سطح ویفر به سرعت گرم شده و خشک میشود، بدون اینکه سطح ویفر آسیب ببیند. همچنین، باید یکنواختی دما در کل ناحیه مورد نظر حفظ شود؛ تا دمای لازم برای فرآیند فتوحساسسازی در محدوده مشخصی باقی بماند.
سر لامپ دارای استاندارد IP67 است؛ یعنی دارای لولههای دربسته و بدنهای مقاوم در برابر خوردگی است؛ بنابراین میتواند در معرض رطوبت و مواد شوینده قوی نیز کار کند. این لامپ با اتاقهای تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین، در حین کار، هیچ ذرهای تولید نمیشود.
چرا این لامپ مناسب این فرآیند است؟
در فرآیند تمیز کردن و خشک کردن ویفرها، باید سطح ویفر کاملاً خشک و بدون آلاینده باشد. لامپ مادون قرمز باعث خشک شدن سطح ویفر میشود؛ بنابراین زمان انجام فرآیند کاهش یافته و مصرف آب نیز کم میشود. کنترل سریع دما نیز به حفظ یکنواختی سطح ویفر کمک میکند؛ همچنین، ساختار ضدآب لامپ، مشکلات ناشی از نشت آب را از بین میبرد؛ و خروجی پایدار لامپ نیز به عملکرد مداوم لامپ در تمام ساعات شبانهروز کمک میکند.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح لامپ لازم است؟
نصب لامپ بستگی به تنظیم فاصله بین لامپ و سطح ویفر دارد؛ همچنین، باید فاصله مناسبی رعایت شود تا از ایجاد نقاط داغ جلوگیری شود، در حالی که کل سطح ویفر پوشش داده شود. لامپ در سطح ویفر دمای بالایی دارد؛ بنابراین، عایقبندی حرارتی و سیمکشی مناسب ضروری است. همچنین، باید طول موج و تراکم انرژی لامپ با شرایط شستشو و ویفرها سازگار باشد؛ در این صورت، میتوانید نتیجه مطلوبی به دست آورید.