חיממן באינפרא אדום התואם לשימוש בוואקום

הפחתת פליטות הפחמן בתהליכי חימום של חצאי מוליכים אלקטרוניים באמצעות קרינת אינפרא-אדום בוואקום ייצור חצאי מוליכים אלקטרוניים דורש דיוק רב, אך ביצוע...