Pada lini produksi yang beroperasi 24/7, masalah drift termal bukanlah masalah teoretis saja—itu merupakan penyebab penurunan kualitas produk yang dapat terdeteksi sebelum tampilan hasil pengolahan terlihat pada layar. Satu kali gangguan dalam proses pemanasan saja sudah cukup untuk menyebabkan perlu dilakukannya proses perbaikan ulang. Kami menciptakan lampu pemanas semikonduktor yang dapat dikendalikan intensitasnya, agar variasi suhu tidak menjadi masalah.
Apa yang penting di balik semua itu? Lampu ini menggunakan emitor inframerah berfrekuensi rendah yang sesuai dengan kemampuan penyerapan cahaya oleh fotoresist. Dengan demikian, responsnya sangat cepat, dan kontrol siklus tertutupnya tetap efektif. Di seluruh area yang dipanaskan, tingkat keseragaman suhu tetap stabil dalam rentang ±0,1°C. Artinya, setiap wafer mendapatkan kondisi termal yang sama. Pengaturan intensitas cahaya dilakukan secara linear dan dapat diulang-ulang, sehingga Anda dapat menggunakan berbagai resep pemrosesan tanpa perlu mengulangi proses pemanasan. Lampu ini juga cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dan bagian pemanasnya tidak mengeluarkan partikel apa pun. Dijanjikan umur pakai lebih dari 5.000 jam dengan penurunan performa kurang dari 5%, serta tidak ada kerusakan yang tak terduga selama operasi berkelanjutan.
Mengapa lampu ini cocok digunakan dalam proses produksi nyata? Dalam proses litografi, proses pemanasan ringan dan intensif menentukan profil suhu yang diperlukan oleh semua komponen lainnya. Dengan lampu ini, suhu fotoresist dapat dikontrol dengan baik, sehingga tidak perlu dilakukan proses perbaikan ulang. Kontrol yang sama juga berguna dalam proses pembersihan dan pengeringan wafer. Penurunan konsumsi energi terjadi karena lampu hanya memanaskan objek yang dituju, bukan bagian sekitarnya. Umur pakai yang panjang berarti lebih sedikit gangguan, dan kualitas produksi tetap stabil dari satu batch ke batch berikutnya.
Apa yang perlu diperhatikan agar lampu ini berfungsi dengan baik? Untuk mendapatkan hasil yang maksimal, perlu memperhatikan cara pemasangan lampu tersebut serta pengaturan PID-nya. Untuk mendapatkan keseragaman suhu yang optimal, pastikan lampu terpasang tepat di atas permukaan wafer, dan gunakan rentang intensitas cahaya yang telah ditentukan. Jika melebihi batas tersebut, stabilitas suhu akan menurun. Planlah pemasangan lampu sedemikian rupa sehingga mudah dilakukan perawatan tanpa mengganggu jalur optik atau aliran udara di ruang bersih.