Dalam proses pengeluaran yang beroperasi 24/7, masalah perubahan suhu bukanlah sesuatu yang hanya bersifat teoretikal – ia merupakan masalah yang boleh menyebabkan kegagalan dalam proses pengeluaran, sebelum ia dapat dilihat pada peta suhu. Sedikit saja perubahan suhu semasa proses pemanggangan, sudah cukup untuk memerlukan proses pembetulan semula. Kami mencipta lampu pemanas berasaskan semikonduktor yang boleh dikawal intensitinya, agar variasi suhu dapat dikurangkan.
Apa yang penting di sebaliknya
Lampu ini menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang disesuaikan dengan sifat penyerapan cahaya oleh bahan fotoresist. Ini memastikan tindak balas lampu berlaku dalam masa sub-saat, dan kawalan berulang tetap efektif. Di kawasan yang dipanaskan, suhu kekal stabil dalam lingkungan ±0.1°C, bermakna setiap wafer mendapat suhu yang sama. Proses penyesuaian intensiti cahaya juga berlaku secara linear dan boleh diulang, jadi anda boleh menggunakan pelbagai kaedah pemanggangan tanpa perlu melakukan ujian semula. Lampu ini juga sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dan badan pemanasnya tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya. Dijangkakan lampu ini dapat beroperasi selama 5,000 jam atau lebih dengan penurunan prestasi kurang dari 5%, serta tiada kegagalan yang tidak dijangka semasa operasi berterusan.
Mengapa ia sesuai untuk digunakan dalam proses sebenar
Dalam proses litografi, proses pemanggangan lembut dan keras menentukan profil suhu yang diperlukan. Dengan lampu ini, suhu fotoresist dapat dikawal dengan tepat, sekali gus mengurangkan keperluan untuk proses pembetulan semula. Kawalan yang sama juga membantu dalam proses pembersihan dan pengeringan wafer. Penggunaan lampu ini juga membolehkan penggunaan tenaga yang lebih efisien, kerana lampu ini hanya memanaskan objek yang dituju, bukan bahagian lain di sekelilingnya. Hayat operasi yang panjang bermakna kurangnya keperluan untuk menukar lampu, serta kestabilan prestasi yang tinggi dari satu batch ke batch yang lain.
Apa yang perlu diperhatikan
Untuk memastikan lampu ini berfungsi dengan baik, perlu memperhatikan cara pemasangannya serta tetapan PID pada kontroler. Untuk mendapatkan keseragaman suhu yang terbaik, lampu perlu diselaraskan dengan permukaan wafer, dan intensiti cahaya perlu dikawal dalam julat yang ditetapkan. Jika melebihi julat tersebut, stabiliti suhu akan menurun. Perancangan pemasangan yang baik akan memudahkan penyelenggaraan lampu, tanpa mengganggu laluan cahaya atau aliran udara di dalam bilik bersih.