Op een 24/7-fabriek lijn is thermische drift geen theoretisch probleem – het is eerder een probleem dat zich al eerder manifesteert, nog voordat het zichtbaar wordt op de kaart. Eén afwijking in de temperatuur kan al tot herwerk nodig maken. We hebben dus een dimbare halfgeleiderverwarmer ontwikkeld om deze variabiliteit te verminderen.
Wat belangrijk is onder de motorkap
De lamp maakt gebruik van een kortegolf-infrarood-emitter die is afgestemd op de absorptie van het fotorester. Hierdoor is de reactietijd onder de secundewijze, zodat de close-loopregeling goed werkt. In het verhitte gebied blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C, zodat elke wafer dezelfde thermische behandeling krijgt. Het dimmen is lineair en reproduceerbaar, zodat je verschillende bereidingsschema’s kunt gebruiken zonder de verhittingsstap opnieuw te hoeven uitvoeren. De lamp is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100, en de verwarmer zelf produceert geen deeltjes. Er kan 5.000+ uur worden gewerkt met minder dan 5% aan vermogensverlies, en er zijn geen onbedoelde storingen tijdens continu gebruik.
Waarom dit nuttig is in echte processen
In de lithografie bepalen de zachte en harde verhittingen het profiel dat alle andere stappen moeten volgen. Met deze lamp houd je de temperatuur van het fotorester op het juiste niveau, waardoor herwerk minimaliseert wordt. Dezelfde regeling helpt ook bij het reinigen en drogen van wafers: een gecontroleerde temperatuurstijging zorgt ervoor dat de wafers schoon blijven. De energieverbruik neemt af, omdat de lamp alleen het doelwit verwarmt en niet de omringende delen. De lange levensduur betekent minder onderhoudsacties en meer reproduceerbaarheid tussen verschillende batches.
Wat je moet doen om het goed te laten werken
Om de lamp optimaal te laten werken, moet je letten op de manier waarop de lamp wordt gemonteerd en op de instellingen van de controller. Voor maximale uniformiteit moet de lamp parallel staan aan het vlak van de wafer. Buiten deze grenzen valt de temperatuurstabiliteit. Plan de installatie zo in dat je de lamp gemakkelijk kunt onderhouden, zonder dat de optische weg of de luchtcirculatie in de schone ruimte wordt verstoord.