Op de productielijn bepalen de temperaturen voor het zacht en hard bakken niet alleen de snelheid van het proces, maar ook de dikte van de lagen die worden gevormd. Een afwijking van 0,5°C kan al ertoe leiden dat de cd’s beschadigen. Als er bovendien nog particles worden gegenereerd tijdens de werking van de lampen, neemt de kwaliteit van de producten af.
Wat nodig is, is een warmtebron die betrouwbaar is, schone warmte levert en direct kan worden gebruikt in de bestaande apparatuur – zonder dat de hele productielijn opnieuw moet worden gevalideerd.
Wij leveren halfgeleiderlampen die zijn ontworpen om te passen bij de thermische en elektrische specificaties van internationale apparaten. Hierdoor krijgt u een vervanging die optimaal past. De kortegolf- en middenegolfprofielen zijn zo ingesteld dat er een constante temperatuur wordt behouden op het gewenste niveau, met een afwijking van maximaal ±0,1°C tijdens de cruciale bakstappen.
Quarts- en halogeen-elementen zorgen voor een snelle opwarmtijd en een stabiele uitgangsspanning. Hierdoor blijft de temperatuur onder controle, terwijl delicate lagen worden beschermd. De compatibiliteit met cleanroomklassen 1–100 is ingebouwd, en er wordt geen sprake van particles dankzij continu monitoren van de lampen tijdens het inschakelen en afkoelen. De driver is ontworpen voor 24/7 gebruik; de levensduur bedraagt meer dan 5.000 uur, met een vermogensafname van minder dan 5%.
Bij lithografie en het verwerken van fotoresist is nauwkeurigheid van de temperatuur belangrijk voor de kwaliteit en de tijd die nodig is voor het proces. Deze lampen zorgen voor een stabiele bakcurve, verbeteren de herhaalbaarheid tussen verschillende batches en verminderen afwijkingen als gevolg van veroudering van de lampen of thermische afwijkingen.
U kunt dezelfde procesparameters en gereedschappen blijven gebruiken, terwijl u energieverbruik kunt verminderen dankzij de efficiënte werking van de lampen. Betrouwbaarheid betekent minder onverwachte stilstanden en minder onderhoudswerkzaamheden die u kunt plannen.
De installatie is compatibel met standaard lampcontactpunten en drivers. Controleer echter de spanning, de type van de connector en de mechanische afstanden goed, afhankelijk van het model van uw apparatuur. Sommige oudere apparaten hebben een firmware-kalibratie nodig voor het bepalen van de stralingsintensiteit – wij leveren hiervoor de nodige instructies.
Het gebruik van een lagere spanning kan de levensduur van de lampen verlengen, maar dit kan ook de baktijd verlengen. Pas de curve aan op de specificaties van de fotoresist.