Jak pozbyć się ozonu podczas procesu utwardzania półprzewodników
Podczas produkcji półprzewodników „czystość” nie jest tylko kwestią preferencji – to po prostu istotna zasada. Procesy suszenia i utwardzania muszą zachować absolutną czystość – nie może pozostać żadnych resztek, żadnych chemikaliów, nic.
Problem polega na tym, że wiele starszych metod grzania po prostu nie nadąża za dzisiejszymi wymogami ekologicznymi i bezołowiowymi. Wtedy właśnie przychodzą na ratunek lampy podczerwone bez ozonu.
Problemy z „standardowymi” lampami podczerwonymi
Standardowe lampy podczerwone emitują promieniowanie w zakresie 185 nm do 250 nm. Gdy to promieniowanie wpada na tlen w powietrzu, powstaje ozon.
W pomieszczeniach o wysokiej czystości ozon stanowi prawdziwy koszmar. Jest to zanieczyszczenie, które niszczy delikatne elementy sprzętu, a także sprawia, że powietrze staje się nieprzyjemne, a nawet niebezpieczne dla osób pracujących tam.
Rozwiązaliśmy ten problem, używając specjalnej osłony z kwarcu pokrytej filtrami selektywnymi. To coś w rodzaju tarczy – blokuje ona widmo VUV (to właśnie ono powoduje powstawanie ozonu), ale pozwala ciepłu swobodnie przenikać. Dzięki temu uzyskujemy całe potrzebne ciepło, bez żadnych efektów chemicznych.
Integracja z obecnym urządzeniem
Te lampy generują dużo ciepła w małej przestrzeni. Ponieważ energia przemieszcza się poprzez promieniowanie, a nie konwekcję, nie tracisz czasu na ogrzewanie całej komory. Ciepło dociera bezpośrednio do substratu. To ogromna zaleta pod względem oszczędności energii.
Ale trzeba uważać na gęstość mocy. Jeśli używasz lamp o dużej mocy, aby przyspieszyć proces utwardzania, temperatura może być bardzo wysoka. Upewnij się, że twoje wentylatory i chłodniki są w stanie poradzić sobie z takim obciążeniem. W przeciwnym razie możesz mieć problemy z uszkodzonym kwarcem lub roztopionymi konektorami. Nikt nie chce się z tym mierzyć we wtorek rano.
Praktyczne zastosowanie
Widzimy, że ludzie zastępują stare piece konwekcyjne tymi lampami podczas utwardzania mask solniczych czy fotorezystów. To prosta zamiana. Nie musisz instalować skomplikowanych systemów wentylacyjnych, aby usunąć ozon z powietrza. Wystarczy podłączyć lampy, ustawić czas nagrzewania, a substrat osiągnie odpowiednią temperaturę w ciągu kilku sekund.
To bardziej efektywne, szybsze i dostosowane do globalnych standardów ekologicznych, bez konieczności komplikowania sobie życia.