Na linha de produção, a indisponibilidade de uma ferramenta não é apenas um problema de manutenção. Trata-se também de um obstáculo para o cumprimento dos prazos de produção. Quando um módulo de tratamento térmico precisa ser reconstruído ou quando o cabeçalho responsável pelo tratamento térmico precisa ser consertado, uma fonte de calor inadequada pode causar contaminação nos componentes eletrônicos. É por isso que desenvolvemos nossos aquecedores infravermelhos para essas situações.
O que é importante, do ponto de vista técnico: Utilizamos emissores de infravermelho de onda curta, montados em estruturas de quartzo. Isso permite um aquecimento rápido e direcionado, com controle preciso da temperatura. Na área aquecida, a uniformidade da temperatura permanece dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade do valor da temperatura fica dentro de uma faixa muito estreita – algo crucial quando é necessário redefinir os parâmetros de tratamento térmico após as reparações.
O corpo do aquecedor é compatível com ambientes de classe 1–100, com superfícies que permitem controle eficaz da geração de partículas e da liberação de gases. Na prática, isso significa que é possível realizar reparos e testes sem que haja alarmes relacionados à presença de partículas ou sem a necessidade de usar mais wafers para testes.
Por que isso funciona onde é necessário: A secagem de wafers, o tratamento térmico do fotoresist, o processo de embalagem e a secagem pós-limpeza todos exigem controle preciso da temperatura. Nossos aquecedores infravermelhos atingem a temperatura desejada rapidamente, o que reduz o tempo de tratamento térmico e aumenta a produtividade.
A alta uniformidade da temperatura diminui as variações de espessura e diâmetro dos wafers após o tratamento térmico. Além disso, a repetibilidade estável dos resultados torna o processo pós-reparo previsível. A rápida resposta dos aquecedores e sua baixa massa térmica permitem menor consumo de energia. A vida útil dos emissores também é longa, o que reduz a necessidade de peças de reposição.
Considerações importantes: A montagem e o alinhamento do aquecedor são cruciais. Ele precisa se adaptar à geometria da zona de aquecimento da ferramenta. É necessário garantir que haja espaço suficiente para evitar pontos quentes locais. A intensidade de luz emitida pelo aquecedor varia com a tensão aplicada; portanto, certifique-se de que a alimentação elétrica seja estável. Flutuações na tensão podem causar flutuações de temperatura.
Dê ao sistema um pouco de tempo para se estabilizar antes de definir os parâmetros de tratamento térmico do fotoresist.