Como se livrar do ozono na cura de semicondutores
Na produção de semicondutores, “limpeza” não é apenas uma preferência – é essencial. É preciso que os processos de secagem e cura não deixem resíduos algum. Nenhum resíduo, nenhuma substância química, nada.
O problema é que muitos métodos de aquecimento tradicionais não conseguem cumprir as normas ecológicas e sem chumbo atuais. É aí que entram em cena as lâmpadas infravermelhas sem ozono.
Os problemas com as lâmpadas infravermelhas “padrão”
As lâmpadas infravermelhas de onda curta emitem radiação na faixa de 185nm a 250nm. Quando essa radiação atinge o oxigênio do ar, cria-se ozono.
Em uma sala limpa, o ozono é um verdadeiro pesadelo. É um contaminante que danifica peças sensíveis e torna o ar insalubre – até perigoso – para as pessoas que trabalham lá.
Solução: usamos um invólucro de quartzo especial, com revestimento filtrante seletivo. Pense nele como um escudo: ele bloqueia a radiação UV (aquele tipo de radiação que gera ozono), mas permite que o calor passe através dele. Assim, você obtém todo o calor necessário, sem nenhum resíduo químico.
Instalação nas instalações existentes
Essas lâmpadas geram muito calor em um espaço pequeno. Como a energia é transmitida por radiação, em vez de convecção, você não perde tempo aquecendo toda a câmara. O calor é direcionado diretamente ao substrato. Isso economiza muito energia.
Mas atenção: monitore a densidade de potência. Se você usar lâmpadas de alta potência para acelerar o processo de cura, o ambiente ficará muito quente. Certifique-se de que os ventiladores e dissipadores de calor possam lidar com essa carga. Caso contrário, você pode enfrentar problemas como quartzo rachado ou conectores derretidos. Ninguém quer enfrentar isso numa manhã de terça-feira.
Uso prático
Estamos vendo pessoas substituírem seus fornos convencionais por essas lâmpadas para curar máscaras de solda ou fotoreativos. É uma substituição simples. Não é preciso instalar sistemas de ventilação caros e volumosos para remover o ozono do ar. Basta conectar as lâmpadas, definir o tempo necessário para alcançar a temperatura desejada, e o substrato atinge a temperatura certa em segundos.
É mais limpo, mais rápido, e ainda está em conformidade com as normas ambientais globais, sem dificultar o trabalho das pessoas.