На производственных линиях, работающих круглосуточно, тепловые отклонения не являются теоретической проблемой — это фактически снижение качества продукции, что проявляется ещё до того, как это становится видно на графиках. Одна лишняя минута нагрева или одна зона с повышенной температурой уже приводят к необходимости переработки продукции. Мы создали светильник с регулируемой мощностью, чтобы устранить такие отклонения.
Что важно при использовании данного устройства Светильник использует излучатель коротковолнового инфракрасного излучения, соответствующий спектру поглощения фоторезиста. Благодаря этому время реакции составляет менее секунды, а контроль температуры осуществляется с высокой точностью. Равномерность распределения температуры во всей зоне нагрева составляет ±0,1°C, что означает, что каждый кристалл получает одинаковое количество тепла. Регулировка мощности происходит линейно и точно, что позволяет использовать разные рецепты обработки без необходимости повторной настройки процесса нагрева. Устройство соответствует стандартам чистых помещений класса 1–100, а сам нагреватель не выделяет частиц. Рассчитывайте на более 5,000 часов работы при полной нагрузке с ухудшением эффективности менее чем на 5%, а также на отсутствие неожиданных сбоев в условиях непрерывной работы.
Почему это устройство подходит для практического использования В процессе литографии параметры нагрева определяют все последующие этапы обработки. С помощью этого светильника можно поддерживать нужную температуру фоторезиста, избегать появления нежелательных отклонений и снижать количество необходимости переработки продукции. Тот же принцип контроля используется при очистке и сушке кристаллов — контролируемое изменение температуры помогает добиться высокого уровня чистоты. Энергопотребление снижается, так как светильник нагревает только цельную поверхность кристалла, а не его окружающую оболочку. Длительный срок службы означает меньше необходимости замены устройства, меньше перерывов в работе, а также стабильность качества продукции при каждой партии.
Что необходимо учитывать при использовании устройства Для правильной работы светильника необходимо учитывать параметры крепления устройства и настройки системы PID контроля. Для достижения наилучшей равномерности температуры светильник должен быть выровнен относительно плоскости кристалла, а также необходимо соблюдать заданный диапазон регулировки мощности. Если отклоняться от этих параметров, стабильность температуры снижается. Необходимо также тщательно спланировать процесс установки, чтобы можно было легко технически обслуживать устройство, не нарушая при этом оптический путь и потоки воздуха в чистой комнате.