การหยุดการรั่วไหลของความร้อนด้วยฝาปิดทำจากเซรามิก เครื่องปล่อยแสงอินฟราเรดแบบมาตรฐานมักจะปล่อยความร้อนออกมามากเกินไป...

บนสายการผลิต เวเฟอร์นั้นไม่รอ เวลามีเพียงไม่กี่วินาทีเท่านั้น และในช่วงเวลานั้น photoresist ต้องได้รับโปรไฟล์อุณหภูมิเดียวกับชุดก่อนหน้าและชุดถัดไป...