Neden havayı ısıtmayı bırakmalıyız? Yarı iletken işlemlerinde dijital IR ile sıcak hava yöntemlerinin karşılaştırılması
Standart bir sıcak hava fırınının nasıl çalıştığını düşünün. Önce havayı ısıtırsınız, ardından bu hava parçanızı ısıtır. Bu oldukça yavaş bir süreçtir. Yarı iletken işlemlerinde bu durum, hayal kırıklığı yaratan bir gecikmeye yol açar. Aslında, substrat henüz ısınmadan önce fırının duvarlarını ve içindeki havayı ısıtmak için çok fazla para ve enerji harcanmış olur. Bu tam anlamıyla israftır.
Beklemenin sorunları
Dijital kızılötesi (IR) kurutma yöntemi, aracıyı ortadan kaldırır. Havanın ısınmasını beklemek yerine, IR cihazları enerjiyi doğrudan parçaya gönderir. Bu işlem neredeyse anında gerçekleşir. Sıcak hava sistemleri birkaç dakika içinde istenen sıcaklığa ulaşabilirken, dijital kontrolcülü IR sistemleri saniyeler içinde hedef sıcaklığa ulaşır. Binlerce wafer veya çip işlediğinizde, bir işlem süresinden 30 saniye kazanmak küçük bir avantaj değildir. Bu, bir günde ne kadar iş yapabileceğinizi tamamen değiştirir.
Doğru sıcaklığı elde etmek
Sadece IR ısısını kullanarak en iyi sonucu elde etmeyi umamazsınız; aksi takdirde substrat bozulur. İşte burada dijital kontrolcüler devreye girer. Gücü gerçek zamanlı olarak ayarlamak için PID döngüleri kullanılır. Kontrolcü, yüzey sıcaklığını yakından izler ve gerektiğinde lambaların gücünü azaltır böylece sıcaklık limitlerini aşmazsınız. Bu, eski “tahmin ve kontrol” yönteminden daha iyidir. Böylece parçanın her yerinde eşit bir sıcaklık dağılımı elde edilir. Ne sıcak noktalar ne de beklenmedik durumlar olur.
Isı yönetimi
IR yöntemi hızlı olsa da oldukça yoğun bir ısı üretir. Bir noktada bu kadar çok ısı biriktiğinden, soğutma fanları ve ısı emici cihazlar konusunda dikkatli olmak gerekir. Eğer elektronik bileşenlerden ve lamba kutusundan gelen ısıyı uzaklaştırmazsanız, bileşenler zarar görebilir. Bu bir denge meselesidir, ancak yönetilebilir bir durumdur.
Dijital IR teknolojisine geçmek, lüks bir yükseltme peşinde koşmak anlamına gelmez. Asıl amaç, o havayla ilgili gecikmelerden kurtulmaktır. Böylece kurutma istasyonunuz daha küçük olur ve fabrikanızda havayı ısıtmak için para harcamaktan kurtulursunuz.