
Waferlerin kirlenmesini başlamadan önce durdurun
Yüksek kapasiteli bir yarı iletken üretim hattı işletiyorsanız, bu durumun ne kadar kötü olabileceğini biliyorsunuzdur. Bir IR lambası bozulduğunda, artık sadece üretimin durması söz konusu değildir; her şey alt üst olur. Cam parçaları ve halojen gazları waferlere düşer ve böylece tüm ürünler işe yaramaz hale gelir.
Bunu önlemek için özel olarak altın yansıtıcılı IR ampuller geliştirdik.
Soğutma teknolojisi
Sır şu: Yansıtıcı üzerinde yüksek saflıkta altın kaplama kullanıyoruz. Neden altın? Çünkü alüminyumdan çok daha iyi bir şekilde kızılötesi ışığı yönlendirebilir. Isıyı tam da gereken yere, yani waferlere yönlendirerek lambanın aşırı ısınmasını engeller.
Lambanın içindeki ısı azaldığı için kuvars üzerindeki baskı da azalır. Ayrıca, bu zorlu sıcaklık değişimleriyle başa çıkabilmek için güçlendirilmiş kuvars malzemeler de kullanıyoruz. Ancak bir uyarı: Eğer lambayı maksimum güçte kullanıyorsanız, ısı yoğunluğu çok yüksek olur. Soğutma fanlarınızın uygun olduğundan emin olun; aksi takdirde ısı, lambanın ömrünü kısaltacaktır.
Kirliliği engelleme
Kirliliği engellemek için sadece ampule güvenmiyoruz. Lambayı yüksek mukavemetli kuvars kılıflarla veya koruyucu kaplamalarla birlikte kullanıyoruz. Bunu bir güvenlik ağı olarak düşünün. Eğer filaman yanarsa veya tüp çatlarsa, koruyucu kaplama her şeyi engeller. Böylece waferler temiz kalır.
Ayrıca konektörler konusuna da dikkat ediyoruz. Terminallerdeki ark oluşumunu engellemek için hassas parçalar kullanıyoruz. Çoğu insan, bu küçük kıvılcımların lokal olarak yüksek sıcaklık noktaları oluşturduğunu ve genellikle camın burada hasar gördüğünü bilmez.
Dikkat edilmesi gerekenler
İyi haber şu ki, bunlar standart IR ampullerin yerine kullanılabilir. Daha iyi bir ısı kontrolü sağlanır ve ciddi arızaların olma ihtimali çok düşer.
Ancak bir uyarı: Altın, parlak çelikten biraz daha hassastır. Lütfen onları temizlemek için aşındırıcı kimyasallar kullanmayın. Bu şekilde kaplamalar zarar görür ve verimlilik düşer. Sadece kuru ve tüysüz bir bezle temizleyin yeter.