Üretim alanında, bir aletin kullanılamaz hale gelmesi sadece bakım meselesi değildir. Bu durum, üretim verimliliğini ve zamanlamasını olumsuz etkiler. Eğer bir kaplama/bakım modülünün yeniden yapılandırılması gerekiyorsa veya bir bağlantı elemanının yeniden işlenmesi gerekiyorsa, yanlış ısı kaynağı kullanılması durumunda parçacıklar oluşabilir ve bu parçacıklar donanımın içine sızabilir. İşte bu yüzden bu tür durumlar için kendi kızılötesi ısıtıcılarımızı geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar Kuarz malzemeden yapılan bu ısıtıcılar sayesinde hızlı ve yönlendirilebilir ısı elde edilir. Isınan alanın genelinde sıcaklık düzgünlüğü ±0,1°C civarında kalır ve ayarlanan sıcaklık değerlerinin tekrarlanabilirliği de oldukça yüksektir. Bu özellikler, servis sonrasında fotoresistin yeniden ısıtılması gerektiğinde çok önemlidir.
Isıtıcı gövdesi, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır; yüzeyleri sayesinde parçacık oluşumu ve gaz salınımı kontrol altında tutulur. Böylece onarım ve kalifikasyon işlemleri parçacık uyarıları olmadan ve fazladan wafer yakılmadan gerçekleştirilebilir.
Neden bu çözüm işinizi kolaylaştırır? Wafer kurutma, fotoresistin yumuşak/sert ısıtılması, paketleme işlemleri ve temizlik sonrası kurutma gibi işlemler için belirli bir ısı bütçesi gereklidir. Kızılötesi ısıtıcılarımız hızlıca ısı ürettiğinden, bakım süreleri kısalır ve üretim hızı artar.
Yüksek sıcaklık düzgünlüğü, litografi işlemlerinden sonra kenarlar ile merkez arasındaki farkları azaltır. Stabil tekrarlanabilirlik ise onarım sonrası işlemlerin tahmin edilebilir olmasını sağlar. Hızlı tepki süresi ve düşük termal kütle, enerji tüketimini azaltır. Ayrıca ısıtıcıların uzun ömürlü olması nedeniyle yedek parça ihtiyacı ve değişim gereksinimleri azalır.
Alınan notlar: Montaj ve hizalanma önemlidir. Isıtıcının, aletin ısı üreten bölgeleriyle uyumlu olması gerekmektedir. Ayrıca yerel ısı noktalarından kaçınmak için yeterli mesafenin olması şarttır. Çıkış yoğunluğu voltaja bağlı olduğundan, güç kaynağınızın stabil olduğundan emin olun. Gerilim dalgalanmaları ve anlık değişiklikler sıcaklık dalgalanmalarına neden olabilir.
Fotoresistin ısıtılması işlemine başlamadan önce kısa bir ısınma süresi tanıyın.