Litografi işleminin ıslak kısmında, su izleri veya düzensiz ısı etkileri bırakan bir durum küçük bir sorun değildir. Bu durum, parça birikimlerine ve boyut hatalarına yol açabilir. Hızlı şekilde ısınabilen, yüzeyi tamamen kurutan ve aynı işlemi tekrarlayabilen bir sistem gereklidir; böylece nem veya parçacıklar tekrar akış içine karışmaz.
Önemli olan hususlar
Yıkama adımı için su geçirmez bir kızılötesi lamba kullanıldı; bu lamba kısa dalga boylu kızılötesi ışık kaynağıdır: kuvars kaplama, halojen filament, hızlı tepki süresi ve stabil çıkış. Suyun etkili şekilde emdiği bir dalga boyu seçilirse, yüzey hızla ısıtılır ve substrat yanmaz. Hedef bölgedeki sıcaklık değeri ±0,1°C civarında tutulmalı ve sıcaklık tekrarlanabilirliği yüksek olmalıdır ki fotorezistin termal özellikleri belirlenen standartlar içinde kalabilsin.
Lamba başlığı IP67 standardına uygundur; kapalı bağlantı noktaları ve korozyona dayanıklı bir gövdeye sahiptir. Bu sayede ıslak ortamlar ve agresif temizleyicilerin etkisinden korunur. 1–100 sınıfı temiz odalarla uyumludur ve çalışma sırasında hiçbir parça üretmez.
Neden bu çözüm işe uygundur?
Waferin temizlenmesi ve kurutulması sırasında, yıkama ve kurutma işlemi sonunda yüzeyin kuru ve kirlilikten arındırılmış olması gerekmektedir. Kızılötesi lamba, yüzeyi yerinde kurutarak işlem süresini azaltır ve saf su kullanımını düşürür. Hızlı ısınma ve hassas sıcaklık kontrolü, yıkamadan sonra fotorezistin bütünlüğünü korur ve her parti için tutarlı sonuçlar elde edilir. Su geçirmez yapısı, sızıntılardan kaynaklanan arızaları önler; stabil çıkış ise minimum ayarlama gerektirerek 24/7 çalışmayı mümkün kılar.
Doğru sonuçlar elde etmek için ne yapılmalı?
Montajda önemli olan şey ayarlama ve mesafe kontrolüdür. Işıma profili oldukça hassastır; bu yüzden tüm alanın kaplanması sağlanırken aynı zamanda aşırı ısınmanın önüne geçilmelidir. Lamba yüzeyde yüksek sıcaklıklar ürettiğinden, termal izolasyon ve bağlantı kabloları zorunludur. Dalga boyu ve güç yoğunluğu, yıkama işlemine ve wafer yapısına uygun olmalıdır. Böylece istenen sonuçlar elde edilir.