نیم تیار شدہ مصنوعات میں کاربن کو کم کرنا: ویکیوم آئی آر کیوں کارگر ہے؟
آیئے، تھرمل بجٹ کے بارے میں بات کرتے ہیں۔ سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں یہ بہت اہم عنصر ہے۔ لیکن اگر آپ اب بھی روایتی رزسٹیو ہیٹنگ کا استعمال کرتے ہیں، تو دراصل آپ پورے چیمبر کو گرم کرنے کے لئے بہت زیادہ توانائی خرچ کر رہے ہیں، صرف اس لئے کہ ایک ویفر کو مناسب درجہ حرارت تک پہنچایا جا سکے۔ یہ توانائی کا بہت بڑا ضیاع ہے، اور یہی وجہ ہے کہ فیکٹریوں سے خارج ہونے والی کاربن گیسوں کی مقدار بہت زیادہ ہے۔
ہمیں ایک بہتر طریقہ مل گیا ہے: ویکیوم کے ساتھ کام کرنے والے انفراریڈ ہیٹر۔ اس طریقے میں، پورے چیمبر کو گرم کرنے کے بجائے، حرارت سیدھے ویفر پر ہی پہنچتی ہے۔
حرارت کے پیچھے کی منطق
جب آپ ویکیوم میں کام کرتے ہیں، تو آپ کو کنویکشن کی مدد نہیں ملتی۔ یہاں صرف ریڈی ایشن اور کنڈکشن ہی کام کرتے ہیں۔
ہم شارٹ-ویو ریڈی ایشن لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں؛ یہ لیمپ بغیر کسی رکاوٹ کے سیدھے ویفر تک پہنچتے ہیں۔ یہ ایک بہت ہی بہتر طریقہ ہے۔ چونکہ توانائی سیدھے مطلوبہ جگہ پر جاتی ہے، اس لئے ویفر کو مناسب درجہ حرارت تک پہنچنے میں وقت کم لگتا ہے۔
تیز رفتار عمل، کم بجلی کی کھپت… بس اتنا ہی!
یہ عام بلب نہیں ہیں
آپ یہاں کوئی عام بلب استعمال نہیں کر سکتے۔ یہ تو بحران کا سبب بنے گا۔
ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز منسلکات کا استعمال کرتے ہیں؛ کیونکہ سستے ہیٹر سے نکلنے والے آلودہ مواد سے ویفر خراب ہو سکتا ہے۔
ہم ان لیمپوں کے ساتھ پی آئی ڈی کنٹرولر بھی استعمال کرتے ہیں، تاکہ درجہ حرارت کنٹرول میں رہے۔ ایک اور اہم نکتہ یہ ہے کہ اگر لیمپ کے سرے پر مناسب کولنگ سسٹم نہ ہو، تو فلامنٹ بہت جلد خراب ہو جاتے ہیں۔
تیز رفتاری اور دباؤ کے درمیان توازن
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ “تھرمل انرشیا” سے چھٹکارہ مل جاتا ہے۔ آپ کو انتظار نہیں کرنا پڑتا کہ پورا دھاتی حصہ گرم ہو جائے۔ اس طرح ویفر کی ساخت برقرار رہتی ہے، اور کاربن کا اخراج بھی کم ہو جاتا ہے۔
لیکن ایک مشکل یہ ہے کہ آپ کو پاور ڈینسٹی کا خیال رکھنا پڑتا ہے۔ اگر آپ بہت زیادہ واٹج استعمال کریں، تو درجہ حرارت بہت زیادہ بڑھ جاتا ہے، جس سے ویفر خراب ہو سکتا ہے۔ آپ کو لیمپوں کے درمیانی فاصلے اور پاور زونز کو مناسب طریقے سے سیٹ کرنا ہوگا، تاکہ ویفر کی سطح سطحی طور پر سیدھی رہے۔
یہ تو تیز رفتاری اور ویفر کی ساخت کے درمیان توازن قائم کرنے کا معاملہ ہے۔ اگر آپ اسے صحیح طریقے سے کریں، تو آپ کے پاس ایک تیز رفتار، پراعتماد اور ماحول دوست سسٹم ہوگا۔