如何让100级洁净室始终保持清洁状态 如果你在运营100级洁净室，那么你一定知道颗粒物带来的麻烦。哪怕是一点微小的颗粒，或是廉价加热元件产生的气体，都可能毁掉你的晶圆或光学涂层。这真是让人头疼不已。 因此，我们采用了不同的方法：我们将碳纤维加热元件与高纯度的合成石英外壳结合在一起。 为何选择石英...

在光刻工艺中，产量取决于温度控制的精确度。如果软烘烤过程中的温度偏差达到2摄氏度，就会影响CD精度的控制；而如果固化过程不均匀，就会导致线条边缘出现粗糙现象。因此，我们设计了碳纳米管加热器，以此来消除在晶圆干燥、光刻胶预烘烤及最终固化过程中的温度控制难题。 真正重要的因素是什么？ 该加热器利用碳纳...