২৪/৭ কার্যকরী ফ্যাব লাইনে, থার্মাল ড্রিফট কোনো তাত্ত্বিক সমস্যা নয়; এটা হলো উৎপাদন ক্ষমতা হ্রাসের কারণ। একটি ছোট্ট ত্রুটির ফলেই পুনরায় কাজ করতে হয়। আমরা ডিম্মিং সক্ষম সেমি-কন্ডাক্টর হিটার ল্যাম্প তৈরি করেছি, যাতে এই ধরনের ত্রুটিগুলো দূর হয়।
ল্যাম্পটির কার্যকারিতা
ল্যাম্পটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটারের উপর ভিত্তি করে কাজ করে; ফলে প্রতিক্রিয়ার সময় কম হয় এবং কন্ট্রোল সিস্টেমটি সুষ্ঠুভাবে কাজ করে। হিটেড জোনে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; অর্থাৎ প্রতিটি ওয়েফারই সমান তাপ পায়। ডিম্মিং প্রক্রিয়াটি লিনিয়ার ও পুনরাবৃত্তিযোগ্য; ফলে বিভিন্ন লেয়ার তৈরি করার সময় পুনরায় কাজ করার দরকার হয় না। এটা ক্লাস ১–১০০ এর ক্লিনরুমে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত; আর হিটারটি থেকে কোনো কণা নির্গত হয় না। ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে এটা কাজ করতে পারে; আউটপুট হ্রাস হয় মাত্র ৫% এর কম। নিরবচ্ছিন্ন কার্যক্রমে কোনো ত্রুটি হয় না।
বাস্তব কার্যক্রমে এটা কেন কার্যকর?
লিথোগ্রাফিতে, “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলো অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলোর ভিত্তি হয়। এই ল্যাম্পটির সাহায্যে ফটোরেজিস্টের তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়; ফলে পুনরায় কাজ করার দরকার হয় না। একই নিয়ন্ত্রণ ওয়েফার পরিষ্কার ও শুকানোর ক্ষেত্রেও কাজ করে। ল্যাম্পটি শুধুমাত্র লক্ষ্যবস্তুকেই গরম করে; ফলে শক্তি সাশ্রয় হয়। দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করার ফলে কম ত্রুটি হয়; আর প্রতিটি লটেই একই মানের ফলাফল পাওয়া যায়।
কী করতে হবে?
ল্যাম্পটিকে আপনার থার্মাল মাস এর সাথে মেলানো জরুরি; এর জন্য মাউন্টিং ইন্টারফেস ও কন্ট্রোলারের PID টিউনিং-এ মনোযোগ দিতে হবে। সর্বোত্তম ফলাফলের জন্য ল্যাম্পটিকে ওয়েফারের সমতলে সারিবদ্ধ করতে হবে; নির্ধারিত ডিম্মিং রেঞ্জের মধ্যেই রাখতে হবে। এছাড়া, অপটিক্যাল পাথ বা ক্লিনরুমের বায়ুপ্রবাহকে ব্যাহত না করেই ল্যাম্পটি মেন্টেন করতে হবে।