Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem der Partikelentstehung. Schon ein winziger Teilchen oder geringe Mengen an Gasen, die von billigen Heizelementen freigesetzt werden, können dazu führen, dass Ihre Wafer oder optischen Beschichtungen beschädigt werden. Das ist frustrierend.
Deshalb machen wir es anders: Wir verwenden Heizelemente aus Kohlenstofffaser in Kombination mit Hochreinquarzkammern.
Warum wir auf Quarz setzen
Wir verwenden Hochreinquarz, weil er die Hitze besser verträgt. Er reagiert nicht unerwartet auf Temperaturschwankungen und gibt keine metallischen Verunreinigungen in den Arbeitsraum ab. Billigeres Glas bricht oft bei steigenden und fallenden Temperaturen, während Quarz stabil bleibt.
Wir verschließen die Kohlenstofffaserdrähte in vakuumdichten Gehäusen. Dadurch wird verhindert, dass die Drähte oxidieren – und vor allem, dass irgendetwas in Ihre Produktionslinie gelangt.
Hitze, die tatsächlich dort ankommt, wo sie benötigt wird
Diese Lampen nutzen kurzwelliges Infrarotlicht. Anstatt Zeit damit zu verschwenden, die Luft um die zu beheizenden Objekte aufzuwärmen, gelangt die Wärme direkt dorthin. Das ist schnell – wirklich sehr schnell.
Aber Vorsicht: Die Hitzedichte ist intensiv. Sie müssen den Montagepunkten genügend Platz für thermische Ausdehnung geben. Wenn Sie den Quarztubus zu fest im Gehäuse fixieren, kann er bereits beim ersten Aufheizen zerbrechen. Glauben Sie mir, das möchten Sie nicht.
So funktioniert das in Ihrer Werkstatt
Wir halten die Anschlüsse standardisiert, sodass Sie diese einfach in Ihre bestehenden Anlagen einsetzen können – ohne Probleme. Da das Design vakuumdicht ist, müssen Sie sich keine Sorgen darüber machen, dass ein defektes Element Ihre gesamte Kammer verschmutzt. Wenn eine Lampe ihre Leistungsgrenze erreicht hat, wechseln Sie einfach das ganze Gerät aus und können weitermachen.
Achten Sie außerdem auf die Stromversorgung. Plötzliche Spannungsspitzen können dazu führen, dass der Draht sofort zerbricht.
Ich empfehle außerdem die Verwendung eines PID-Reglers. Kohlenstofffaser reagiert sehr schnell – daher ist es leicht, die Zieltemperatur zu überschreiten, wenn der Regler nicht richtig eingestellt ist. Wenn Sie das richtig einstellen, haben Sie eine Lösung, die die Bearbeitungszeiten verkürzt, ohne dass auch nur ein Staubkorn in der Luft entsteht.