Kohlenstoffeinsparung in der Fertigung: Warum kurzwelliges Infrarot die beste Lösung ist
Im Halbleiterbereich herrscht großes Druck, die Kohlenstoffneutralität zu erreichen. Das bedeutet viel Druck. Wenn man sich ansieht, wo eigentlich die Energie verbraucht wird, stellt man fest, dass ein großer Teil der Energie beim Erhitzen sowie Trocknen der Wafern verloren geht.
Deshalb haben wir uns für Kurzwellen-Infrarotlampen entschieden. Anstatt den gesamten Raum zu erhitzen – was im Grunde genommen so ist, als würde man einen ganzen Raum erwärmen, nur um eine Tasse Kaffee zu erhitzen – senden diese Lampen die Energie direkt auf die Oberfläche der Wafer.
Energieverbrauch
Traditionelle Widerstandsheizungen sind ehrlich gesagt ziemlich verschwenderisch. Sie verbringen viel zu viel Energie damit, die umgebende Luft sowie die Wände des Raumes zu erhitzen.
Kurzwellen-Infrarotlampen funktionieren anders. Sie nutzen ein Spektrum, das Silikon und andere gängige Substrate sofort aufnehmen können. Es ist also sehr schnell.
Wenn man auch nur ein paar Sekunden vom Erwärmungsprozess pro Wafer einsparen kann, summieren sich diese Einsparungen über viele Wafer hinweg zu erheblichen Mengen.
Was steckt dahinter?
Wir verwenden hochreine Quarzgehäuse sowie Halogenlampen für diese Lampen. Das Halogengas ist dabei das Geheimnis – es verhindert, dass der Wolframfaden verdampft und die Wände der Lampe verunreinigt werden. Dadurch bleibt die Lampe sauber und die Wärmeleistung konstant – über tausende von Stunden hinweg.
Je nach Art der Wafer können wir dem Quarz spezielle Beschichtungen hinzufügen. Dadurch können wir die nicht benötigten Wellenlängen blockieren und die Energie genau dorthin lenken, wo sie benötigt wird.
Und das Beste daran: Man kann diese Lampen einfach mit Standardindustriekontakten in die vorhandenen PLC-Controller anschließen. Es handelt sich dabei um einen einfachen Ersatz für die alten, unpraktischen Technologien.
Die Vorteile in der Praxis
Der größte Vorteil ist die Beseitigung des „stillen“ Energieverbrauchs. Da die Infrarotlampen fast sofort an- und ausgeschaltet werden können, muss das System nicht weiterhin im Betrieb bleiben, während man wartet. Man schaltet die Lampe einfach ein, wenn man sie benötigt.
Das ist eine Erleichterung für den CO₂-Fußabdruck der Fabrik – und das HVAC-Team wird Ihnen dankbar sein, dass Sie einen Teil der Last von den Kühlsystemen der Anlage nehmen.