جلوگیری از آلودگی ویفرها، قبل از شروع فرآیند تولید
اگر در یک خط تولید نیمههادی با بار کاری بالا فعالیت میکنید، میدانید که چه مشکلاتی ممکن است پیش بیاید. اگر لامپ مربوطه خراب شود، دیگر صرفاً مسئله توقف فعالیت خط تولید نخواهد بود؛ بلکه همه چیز به هم ریخته خواهد شد. تکههای شیشه و گاز هالوژن روی ویفرها میافتند و در نتیجه، کل محموله از بین خواهد رفت.
ما لامپهای IR با رفلکتورهای طلاسازیشده را طوری طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
علم سرمایش
راز این موضوع این است که ما از روکش طلا با خلوص بالا بر روی رفلکتور استفاده میکنیم. چرا طلا؟ چون طلا قادرت بیشتری برای کنترل طیف مادون قرمز دارد. این روکش، گرما را دقیقاً به جایی که لازم است، یعنی به سمت ویفرها، هدایت میکند؛ در نتیجه، بدنه لامپ دچار گرمای بیش از حد نمیشود.
کمتر بودن گرما در بدنه لامپ، به معنای کاهش فشار بر کوارتز نیز هست. ما همچنین از کوارتز با مقاومت بالا برای مقابله با تغییرات دمایی شدید استفاده میکنیم. اما یک توصیه: اگر از حداکثر توان لامپ استفاده کنید، چگالی گرما بسیار بالا خواهد بود؛ بنابراین حتماً فنهای خنککننده را بررسی کنید. اگر این فنها کارایی لازم را نداشته باشند، گرما میتواند عمر لامپ را کوتاه کند.
جلوگیری از ورود ذرات خارجی
برای جلوگیری از آلودگی، ما فقط به لامپ تکیه نمیکنیم؛ بلکه لامپ را با یک غلاف کوارتزی با مقاومت بالا یا یک سپر محافظ همراه میکنیم. این سپر مانند یک تور محافظ عمل میکند؛ اگر فیلامنت لامپ خراب شود یا لوله لامپ ترک بخورد، این سپر تمام ذرات خارجی را جذب میکند. در نتیجه، ویفرها تمیز باقی میمانند.
ما همچنین به اتصالات لامپ نیز توجه زیادی میکنیم؛ از قطعات با دقت بالا برای جلوگیری از ایجاد جرقه در اتصالات استفاده میکنیم. اکثر مردم متوجه نیستند که این جرقههای کوچک میتوانند منجر به ایجاد نقاط گرم در لامپ شوند؛ و اغلب این نقاط گرم همان جاهایی هستند که شیشه لامپ اولین بار خراب میشود.
چند نکته مهم
خبر خوب این است که این لامپها میتوانند جایگزین لامپهای IR معمولی شوند. شما کنترل بهتری بر گرما خواهید داشت، و میتوانید با آرامش بیشتری کار کنید، زیرا احتمال بروز خرابیهای جدی بسیار کمتر است.
اما یک هشدار: طلا نسبت به فولاد صیقلی، حساسیت بیشتری دارد؛ بنابراین از مواد شیمیایی قوی برای تمیز کردن آنها استفاده نکنید. در غیر این صورت، روکش طلا از بین خواهد رفت و کارایی لامپ کاهش خواهد یافت.
فقط از پارچههای خشک و بدون تار برای تمیز کردن لامپها استفاده کنید؛ این کافی است.