جلوگیری از نابودی کل محموله تولیدی به خاطر خراب شدن یک لامپ
در خطوط تولید نیمههادیهای پربار، همه چیز به خوبی پیش میرود، تا اینکه ناگهان یک لامپ خراب میشود؛ لوله کوارتز نیز ترک میخورد و در نتیجه، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی در همه جا پخش میشوند. در نتیجه، کل محموله ویفرها بیارزش میشود. این واقعاً یک فاجعه است.
ما گرمکنهای مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد. این کار به دو مورد بستگی دارد: سیمکشی مناسب و ساختار حفاظتی قوی.
چرا ما به تفلون (PTFE) اهمیت میدهیم؟
اکثر مواد عایقکننده استاندارد، نمیتوانند با گرما و سرمای مداوم محیط نیمههادیها کنار بیایند؛ آنها شکننده میشوند. به همین دلیل، ما از تفلون با کیفیت بالا برای سیمهای الکتریکی استفاده میکنیم؛ این ماده انعطافپذیر باقی میماند و در هنگام گرم شدن، گازی تولید نمیکند.
خطر واقعی این است که اگر سیمها سوخته شوند، ارتعاش الکتریکی ایجاد میشود؛ این ارتعاش در واقع میتواند لوله کوارتز را منفجر کند. استفاده از PTFE از این اتفاق جلوگیری میکند.
حفظ تمیزی محیط
حتی با سیمکشی مناسب، همچنان ممکن است مشکلاتی پیش بیاید؛ اما خراب شدن یک لوله نباید منجر به توقف کل خط تولید شود. ما از کوارتز مستحکمی استفاده میکنیم که بتواند در برابر ضربات یا شوکهای حرارتی مقاومت کند؛ اما ما فقط به همین مرحله ختم نمیکنیم. ما یک غلاف حفاظتی نیز اضافه میکنیم. اگر لوله خراب شود، تکههای آن درون غلاف میمانند و به ویفرها آسیبی نمیرسد. این کار باعث میشود «منطقه فاجعه» جدا شود و محصولات شما تمیز بمانند.
نکاتی که باید در نظر داشته باشید
برای دستیابی به گرمای لازم، باید توان الکتریکی زیادی وارد کرد؛ این کار فشار زیادی بر روی انتهای لامپ وارد میکند. تجهیزات ما میتوانند این گرما را تحمل کنند، اما شما باید منبع تغذیه را پایدار نگه دارید. نوسانات ولتاژ میتواند به رشتههای الکتریکی آسیب برساند؛ صرفنظر از کیفیت عایقکننده، نوسانات شدید میتواند لوله را خراب کند.
یک نکته مهم: تنظیمات کنترلر PID را متناسب با نرخ گرم شدن واقعی لامپ در نظر بگیرید؛ این کار باعث میشود لوله کوارتز مدت زمان بیشتری دوام داشته باشد.
وقتی که سیمکشی مناسب و ساختار حفاظتی مناسبی داشته باشید، خراب شدن یک لامپ دیگر یک فاجعه نخواهد بود؛ فقط کافی است لامپ را عوض کنید، غلاف را تمیز کنید و خط تولید دوباره شروع به کار کند.