مقدمه
در فرآیندهای پردازش عمیق نیمههادی، همه در تلاش برای کاهش زمان لازم برای انجام کار هستند؛ بدون اینکه باعث کاهش بازدهی شود. بنابراین، ما یک ترموکپل ویژه برای گرمکنهای نیمههادی طراحی کردیم تا بتوانیم این مشکل را حل کنیم.
گرمایش مادون قرمز، انرژی را مستقیماً به نقطه مورد نظر منتقل میکند؛ بنابراین نیازی به انتظار گرم شدن هوا نیست. ترموکپلهای ما نیز این فرآیند را کنترل میکنند تا فرآیند پردازش به طور پایدار ادامه یابد.
بررسی فنی
تفاوت این روش با سایر روشها این است که گرمایش مادون قرمز از مشکلات مربوط به جذب حرارت توسط هوا جلوگیری میکند. ترموکپلهای ما نیز با سرعت گرمکن هماهنگ هستند و در عرض چند میلیثانیه، دما را کنترل میکنند.
ما اندازه سیستم را بر اساس مشخصات حرارتی ابزار شما تنظیم میکنیم؛ ولتاژ، توان و ساختار فیزیکی سیستم نیز با ویژگیهای محفظه و سطح کار مطابقت دارد. نتیجه این کار این است که زمان لازم برای گرم شدن ابزار کمتر میشود و سرعت پردازش افزایش مییابد.
مواد و طراحی
ما از یک عنصر مادون قرمز کوتاهامواج همراه با پوشش کوارتزی برای ایجاد گرما استفاده کردهایم؛ این روش باعث میشود گرما به سرعت ایجاد شود و از شوک حرارتی جلوگیری شود. پوشش بازتابنده نیز انرژی را دقیقاً در جای مورد نیاز متمرکز میکند؛ بنابراین اجزای اطراف نیز تحت تأثیر حرارت قرار نمیگیرند.
انتخاب اتصالات نیز تصادفی نیست؛ این اتصالات امنیت بالایی دارند و در برابر چرخههای حرارتی مکرر، مقاومت خوبی از خود نشان میدهند.
این سیستم برای استفاده روزانه در محیطهای پاکسازی شده طراحی شده است.
کاربرد و مزایا
در فرآیندهای پردازش عمیق، نیاز به گرمایش در نقطه دقیق مورد نظر وجود دارد؛ همچنین نیاز به اطمینان از دمای صحیح نیز وجود دارد. ترموکپلهای ما امکان کنترل دقیق دما را فراهم میکنند؛ بنابراین میزان مواد بازیافتی و کارهای تکراری کاهش مییابد.
ابعاد این سیستم کوچک است؛ بنابراین فضای لازم برای استفاده در ابزارها فراهم میشود. همچنین، چون چگالی حرارتی بالاست، نیاز به سیستم خنککننگ مناسب وجود دارد؛ بنابراین باید انتخابهای مناسبی برای این منظور صورت گیرد.
برای مهندسان، این روش به معنای کاهش تغییرات ناگهانی دما، داشتن زمانهای پردازش قابل پیشبینی، و انجام فرآیند به شکل یکنواخت از مرحله توسعه تا تولید است.