ウェーハを安全に保つために：誘電体の信頼性についての真実
大量の熱をウェーハに与えるとき、高電圧が働きます。これは非常に過酷な環境です。わずかなミス——少しの電気漏れや偶発的な放電——で、コントローラーが破壊されたり、大量のシリコンが廃棄物になってしまったりします。
これは悪夢のような状況です。しかし、これは完全に避けられます。
なぜすべてのランプをテストするのか
一部のメーカーでは「バッチサンプリング」を行います。数個のランプをテストし、残りは問題ないと判断して出荷します。しかし、私たちはそうしません。
私たちは、ランプが出荷箱に入る前に、100％のヒポットテストおよび絶縁抵抗テストを行います。通常の動作条件をはるかに超える電圧をかけて、石英内の微細な割れ目や不純物を探します。
もし電流が漏れていれば、そのランプは廃棄されます。それだけです。
過激に聞こえるかもしれませんが、感度の高い半導体装置の隣にこれらのランプを設置する場合、フィラメントとケースの間の絶縁がしっかりしているかを確認する必要があります。
スパークだけが問題ではない
電気漏れは確かに安全性の問題です。しかし、ノイズの問題でもあります。
余分な電流が温度センサーに影響を与え、正確でない測定値をもたらすことがあります。さらに、これらのランプは急速に加熱・冷却されるため、材料にストレスがかかります。
石英は通常、優れた絶縁体ですが、封止処理中にわずかな汚染があると、電流が流れる道ができてしまいます。私たちのテストによって、そうした欠陥を事前に発見できます。
バランスの取り方
難しい点は、ヒーターがウェーハに近いほど熱伝達が良くなり、効率が上がるということです。しかし、隙間が狭くなるほど、電気放電のリスクも高くなります。加熱時間を短縮するために隙間を狭くする場合、ランプが誘電体ストレスに耐えられるかを確認する必要があります。
また、たとえ最も厳格にテストされたランプであっても、システムの接地が不十分な場合は役に立ちません。サージ電流は依然として回路に影響を与えます。アレイを接続する前に、必ずシャーシの接地を確認してください。