Menghilangkan Ozon Semasa Proses Pengeringan dan Penyembuhan Semikonduktor
Ketika menghasilkan semikonduktor, “kebersihan” bukan sekadar keutamaan – ia merupakan syarat yang sangat penting. Proses pengeringan dan penyembuhan perlu dilakukan sedemikian rupa sehingga tidak ada sisa bahan kimia atau zat lain yang tertinggal.
Masalahnya adalah kaedah pemanasan tradisional tidak mampu memenuhi standard ekologi dan ketiadaan bahan berbahaya masa kini. Di sinilah lampu inframerah tanpa ozon menjadi penyelesaian yang ideal.
Masalah dengan Lampu Inframerah “Standar”
Lampu inframerah jenis standar mengeluarkan radiasi dalam julat 185nm hingga 250nm. Apabila radiasi ini bertemu dengan oksigen di udara, ia akan menghasilkan ozon.
Dalam bilik bersih, ozon merupakan masalah besar. Ia merupakan bahan pencemar yang boleh merosakkan komponen-komponen sensitif serta menjadikan udara tidak sesuai untuk digunakan oleh pekerja di sana.
Kita menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan gegelung kuarsa khas yang dilengkapi lapisan penapis. Ia berfungsi seperti perisai yang menghalang gelombang VUV yang menyebabkan pembentukan ozon, sambil membenarkan haba panas masuk ke dalam ruangan tersebut. Dengan cara ini, anda mendapat haba yang diperlukan, tanpa adanya bahan kimia berbahaya.
Pemasangan Lampu Ini dalam Sistem Anda
Lampu ini mampu menghasilkan haba yang banyak dalam ruang yang kecil. Disebabkan tenaga dipindahkan melalui radiasi, anda tidak perlu membuang masa untuk memanaskan keseluruhan bilik. Haba hanya ditumpukan pada permukaan substrat sahaja. Ini tentunya membantu mengurangkan kos tenaga.
Namun, berhati-hatilah terhadap kepadatan tenaga yang dihasilkan. Jika anda menggunakan lampu berkuasa tinggi untuk mempercepatkan proses penyembuhan, suhu di dalam bilik akan menjadi sangat tinggi. Pastikan kipas penyejuk dan sistem penyerap haba mampu menanggung beban tersebut. Jika tidak, gegelung kuarsa boleh pecah atau komponen-komponen lain boleh rosak. Tiada siapa yang ingin menghadapi masalah seperti ini pada waktu pagi hari Selasa.
Penggunaan Sebenar
Kami melihat ramai orang menukar oven konvensional lama mereka dengan lampu ini untuk proses penyembuhan lapisan pelindung atau bahan fotoreseptor. Ia merupakan cara yang mudah. Anda tidak perlu memasang sistem pengudaraan yang mahal untuk menghilangkan ozon dari udara. Cukup sambungkan lampu tersebut, tetapkan masa yang diperlukan, dan substrat akan mencapai suhu yang tepat dalam beberapa saat sahaja.
Cara ini lebih bersih, lebih cepat, dan selaras dengan standard hijau global, tanpa menyusahkan anda.