Di bahagian yang basah dalam proses litografi, keadaan di mana air masih tertinggal atau haba yang tidak sekata bukanlah masalah kecil. Ia merupakan sumber partikel dan ralat dimensi yang boleh berlaku pada bila-bila masa. Anda memerlukan haba yang dapat disalurkan dengan cepat, serta mampu mengeringkan permukaan dengan sempurna, tanpa meninggalkan kelembapan atau partikel di permukaan tersebut.
Apa yang penting
Kami telah mencipta lampu inframerah yang tahan air untuk digunakan dalam proses pembasuhan. Lampu ini menggunakan sinar inframerah gelombang pendek, dengan lapisan kuarsa sebagai pelindung, filamen halogen yang memberikan respons yang cepat, serta keluaran yang stabil. Pilihlah julat panjang gelombang yang dapat diserap dengan efektif oleh air, agar permukaan dapat dikeringkan dengan cepat tanpa merosakkan substratnya. Pastikan suhu di kawasan yang dirawat kekal stabil pada tahap ±0.1°C, supaya kualiti bahan fotorezist tetap terjaga.
Lampu ini memiliki sertifikasi IP67, dengan komponen yang kedap air dan struktur yang tahan karat. Ini memungkinkannya berfungsi walaupun terdedah kepada keadaan lembap atau bahan pembersih yang agresif. Lampu ini juga sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100. Selain itu, reka bentuknya memastikan tiada partikel dihasilkan semasa operasi.
Mengapa ini sesuai untuk proses tersebut
Dalam proses pembersihan dan pengeringan wafer, proses pembasuhan dan pengeringan perlu diselesaikan dengan permukaan yang kering dan bebas daripada kontaminasi. Lampu inframerah membantu proses pengeringan dengan efektif, sehingga masa yang diperlukan untuk proses ini berkurangan, dan penggunaan air juga berkurangan. Kawalan suhu yang tepat memastikan integriti bahan fotorezist tetap terjaga setelah proses pembasuhan. Reka bentuk yang tahan air pula mengelakkan masalah akibat kebocoran, manakala keluaran yang stabil memastikan operasi berjalan 24/7 tanpa memerlukan penyesuaian yang sering.
Apa yang perlu diperhatikan
Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian yang tepat berkaitan dengan jarak antara lampu dan permukaan yang akan dirawat. Intensiti cahaya yang dihasilkan oleh lampu sangat tinggi, jadi jarak antara lampu dan permukaan perlu ditetapkan dengan tepat agar tidak ada kawasan yang terlalu panas. Lampu ini menghasilkan haba yang tinggi pada permukaan, jadi isolasi termal dan kabel penghubung yang berkualiti sangat penting. Pastikan panjang gelombang dan kekuatan cahaya sesuai dengan jenis bahan kimia yang digunakan serta struktur wafer tersebut, agar hasil yang diinginkan dapat dicapai.