Het verwijderen van ozon bij het drogen en harden van halfgeleiders
Bij de productie van halfgeleiders is ‘zuiverheid’ niet zomaar een wens – het is zelfs essentieel. De droogings- en hardingsprocessen moeten er zorg voor dragen dat er absoluut niets achterblijft: geen restanten, geen chemicaliën, helemaal niets.
Het probleem is dat veel ouderwetse verwarmingstechnieken niet voldoen aan de huidige milieuvriendelijke en loodvrije eisen. Hier komen onze ozonvrije infraroodlampen om de hoek kijken.
Het probleem met ‘standaard’ infraroodlampen
Standaard kortegolf-infraroodlampen stralen energie uit in het bereik van 185 nm tot 250 nm. Wanneer deze straling op het zuurstof in de lucht stuit, wordt er ozon gevormd.
In een schone ruimte is ozon een groot probleem. Het is een vervuilende stof die gevoelige onderdelen beschadigt en de lucht onaangenaam – zelfs gevaarlijk – maakt voor de mensen die er werken.
We hebben dit opgelost door gebruik te maken van speciale kwartskernen met een selectief filterlaag. Dit fungeert als een soort schild: het blokkeert het VUV-stralingsbereik (dat ozon veroorzaakt), terwijl het de thermische warmte wel doorlaat. Je krijgt dus alle warmte die je nodig hebt, zonder dat er sprake is van chemische vervuiling.
Integratie in je systeem
Deze lampen leveren veel warmte op in een kleine ruimte. Omdat de energie via straling wordt overgedragen, hoef je de hele ruimte niet op te warmen. Je verwarmt alleen het substraat. Dit bespaart veel energie.
Maar let wel op de stroomsterkte: als je een hoogvermogenlamp gebruikt om het proces te versnellen, kan het erg heet worden. Zorg ervoor dat je koelventilatoren en koelpaden goed genoeg zijn om dit aan te kunnen. Anders kan het kwarts breken of kunnen de verbindingen smelten. Niemand wil dit natuurlijk op een dinsdagochtend mee maken.
Praktische toepassingen
We zien steeds meer mensen hun oude convectiekookovens vervangen door deze lampen wanneer ze soldeermaskers of fotoresisten willen harden. Het is een eenvoudige vervanging: je hoeft geen grote, dure ventilatiesystemen te installeren om het ozon uit de lucht te halen. Je hoeft alleen de lampen aan te sluiten, de gewenste temperatuur in te stellen, en het substraat bereikt al na enkele seconden de juiste temperatuur.
Het is schoner, sneller, en het past bovendien bij de wereldwijde milieunormen, zonder dat het je leven moeilijker maakt.