ในโรงงานผลิตชิปนั้น คุณจะไม่มีโอกาสแก้ไขอะไรได้เลย หากอุณหภูมิเพิ่มขึ้นหรือลดลงเพียงครึ่งองศาเซลเซียสเท่านั้น การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 0.5°C ระหว่างกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ ก็อาจส่งผลให้มิติสำคัญของชิปเปลี่ยนไป และทำให้ชิปจำนวนมากกลายเป็นขยะได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีอุปกรณ์ทำความร้อนที่มีความเสถียร สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ นั่นคือเหตุผลที่เราสร้างเครื่องทำความร้อนจากควอตซ์ขึ้นมาเอง เพื่อใช้ในการผลิตชิป โดยที่อุณหภูมิที่ใช้จะต้องแม่นยำอย่างยิ่ง
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราเลือกใช้ควอตซ์ เพราะมันสามารถให้การตอบสนองต่อรังสีอินฟราเรดได้อย่างรวดเร็วและมีความเสถียร อีกทั้งพื้นผิวของควอตซ์ก็เหมาะสำหรับการใช้ในห้องสะอาด ในบริเวณที่มีการทำงาน อุณหภูมิจะต้องมีความเสถียรภายในช่วง ±0.1°C ซึ่งเป็นค่าที่จำเป็นสำหรับการควบคุมอุณหภูมิในกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ คุณสามารถปรับค่าพลังงานที่ใช้ได้ตามความต้องการของเครื่องจักร โดยใช้คลื่นความยาวและความหนาแน่นของพลังงานที่เหมาะสม ส่วนขนาด แรงดันไฟฟ้า และประเภทของตัวเชื่อมต่อก็จะถูกกำหนดตามคุณสมบัติของเครื่องจักร ไม่ว่าจะเป็นเครื่องจักรเก่าหรือใหม่ก็ตาม ทำให้การติดตั้งเป็นไปอย่างง่ายดาย
กระบวนการลิโธกราฟีและการประมวลผลวัสดุโฟโตรีซิสต์นั้นไม่สามารถทนต่อความผันผวนของอุณหภูมิได้เลย จำเป็นต้องมีความสม่ำเสมอในการควบคุมอุณหภูมิในแต่ละรอบการผลิต เครื่องทำความร้อนเหล่านี้สามารถทำงานได้ 24/7 โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ดังนั้นจำนวนอนุภาคในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 ก็จะอยู่ในระดับที่เหมาะสม ผลลัพธ์ที่ได้ก็คือการควบคุมมิติสำคัญของชิปได้อย่างเสถียร ลดการปรับแก้ชิปซ้ำๆ และได้ผลผลิตที่มีคุณภาพสม่ำเสมอ เรายังควบคุมการใช้พลังงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยใช้ระบบควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ ทำให้ต้นทุนการผลิตลดลงโดยไม่ส่งผลต่อความเร็วในการผลิต
สิ่งที่คุณต้องให้ความสำคัญก็คือ เครื่องทำความร้อนจากควอตซ์นั้นมีความไวต่อแรงกดที่เกิดขณะติดตั้ง และกระแสลมที่ใช้ในการทำความเย็น ดังนั้นจึงจำเป็นต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าการจัดวางเครื่องทำความร้อนนั้นถูกต้อง และกระแสลมที่ใช้ในการทำความเย็นก็ต้องมีความสม่ำเสมอ มิฉะนั้นก็จะเกิดจุดร้อนขึ้นได้ เรามีแผนการปรับแต่งเครื่องทำความร้อนและข้อกำหนดในการติดตั้งมาให้ล่วงหน้า อย่าลืมว่าการตอบสนองของเครื่องทำความร้อนนั้นขึ้นอยู่กับรูปทรงของห้องปฏิบัติการด้วย ดังนั้นควรแจ้งข้อมูลเกี่ยวกับขนาดของเครื่องจักรให้เรารู้ล่วงหน้า เพื่อให้เราสามารถปรับแต่งเครื่องทำความร้อนให้เหมาะสมกับห้องปฏิบัติการได้