光刻胶预烘烤红外加热器

在光刻工艺中，哪怕温度仅有半度的变化，都可能让关键尺寸控制失灵。此时，光刻胶中的溶剂含量也会变得难以预测，从而导致产品良率下降。我们设计的预烘烤用红外加热器，就是为了消除这种不确定性。 核心要点： 我们使用响应速度快、光谱控制精确的短波红外发射器，这样就能实现快速升温，同时避免温度过度上升。如此一...