碳纳米管制备加热器

在光刻工艺中，产量取决于温度控制的精确度。如果软烘烤过程中的温度偏差达到2摄氏度，就会影响CD精度的控制；而如果固化过程不均匀，就会导致线条边缘出现粗糙现象。因此，我们设计了碳纳米管加热器，以此来消除在晶圆干燥、光刻胶预烘烤及最终固化过程中的温度控制难题。 真正重要的因素是什么？ 该加热器利用碳纳...