دیگر اجازه ندهید فرآیند خشک کردن، باعث کاهش بازدهی شما شود!
اگر از اتاقهای تمیز درجه ۱۰۰ استفاده میکنید، میدانید که چقدر این موضوع آزاردهنده است. حتی یک ذره گرد و غبار کوچک یا یک تکه ریز از عنصر گرمایشی، میتواند روی ویفر سنسور MEMS قرار بگیرد؛ در نتیجه، کشش سطحی ماده کاهش یافته و بازدهی کاهش مییابد. این موضوع نه تنها آزاردهنده است، بلکه هزینهبر نیز هست.
به همین دلیل، ما از لامپهای IR سنتتیک با خلوص بالا استفاده کردیم. در این لامپها، هیچ تکه ریزی وجود ندارد؛ همچنین، هیچ گازی نیز تولید نمیشود. فقط گرمای پاک وجود دارد.
چرا کوارتز اهمیت دارد؟
اساساً، اکثر شیشهها نمیتوانند در برابر گرما مقاومت کنند؛ در نتیجه، تجزیه شده یا مواد آلی فرار تولید میشوند. ما از سیلیکا استفاده میکنیم؛ زیرا حتی در دماهای بالا نیز پایدار باقی میماند.
میتوانید کوارتز را مانند یک صندوق امنیتی در نظر بگیرید؛ این ماده، فیلامنت تنگستن را از محیط اتاق تمیز جدا نگه میدارد. شما گرمای لازم را دریافت میکنید، اما هیچ تماس فیزیکی وجود ندارد و هیچ جریان هوایی نیز وجود ندارد که باعث ورود آلایندهها به ویفرها شود. این روش، روشی ایمنتر برای کار است.
چگونه گرمای لازم را تأمین کنیم؟
راز موفقیت در فرآیند خشک کردن MEMS، حرکت سریع است. باید مایعات مورد استفاده را به سرعت تبخیر کرد؛ اما نمیتوانید سطح ویفر را تا حد انرژی بیش از حد گرم کنید.
لامپهای IR ما، از تابش موج کوتاه استفاده میکنند؛ این تابش میتواند لایه مایع را از بین ببرد. ما میتوانیم توان و ولتاژ لامپها را متناسب با اندازه ویفرها تنظیم کنیم؛ بنابراین، این روش برای همه ویفرها مناسب است.
اما یک نکته مهم وجود دارد: وقتی که از این لامپها برای کاهش زمان فرآیند استفاده میکنید، انتهای لامپها بسیار داغ میشود. بنابراین، باید مطمئن شوید که بدنه لامپها دارای سیستم خنککننده مناسبی باشد؛ در غیر این صورت، بدنه اتاق تمیز ممکن است دچار تغییر شکل شود، و هیچ کس نمیخواهد با این مشکلات سروکار داشته باشد.
پیوند دادن لامپها و نگهداری آنها
ما از کانکتورهای استاندارد استفاده کردیم؛ چرا؟ چون میخواهیم این لامپها به عنوان جایگزین سادهای برای ماژولهای خشککنی موجود استفاده شوند. این لامپها فضای کمی اشغال میکنند؛ بنابراین میتوانید آنها را نزدیکتر به ویفر قرار دهید تا کارایی بهتری داشته باشد. همچنین، ما از چسبها و رنگها استفاده نکردیم؛ زیرا این مواد در نهایت از روی سطح لامپها جدا میشوند. در عوض، این لامپها به صورت مکانیکی به ویفرها متصل میشوند.
و وقتی که لامپها خراب شدند؟ فقط کافی است آنها را تعویض کنید؛ نیازی نیست ساعتها وقت صرف تنظیم مجدد پارامترهای حرارتی اتاق تمیز کنید. شما میتوانید دوباره به کار خود ادامه دهید.