탄소 나노튜브 제조용 히터

리소그래피 공정에서는 수율이 몇 도의 차이로 결정됩니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생겨도 CD 제어에 문제가 생기며, 균일하지 않은 경화 과정은 선가장자리의 거칠음을 유발합니다. 그래서 우리는 웨이퍼 건조, 포토레지스트 예비 베이크, 하드 베이...