포토레지스트 예열용 적외선 히터

리소그래피 공정에서는, 단지 0.5도라는 작은 온도 변화만으로도 정밀한 치수 제어가 불가능해집니다. 포토레지스트 내에 남아 있는 용매의 양도 예측할 수 없게 되고, 그로 인해 생산 효율도 저하됩니다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 특별히 설계된 적외선 히터를...