팹용 최고 평점의 RTP 램프

제조 공장에서는 열 변동이 발생할 때 아무런 경고 신호도 주어지지 않습니다. 이러한 문제는 치명적인 치수 변화, 벽면에 생기는 스트라이어들, 그리고 로트마다 성능이 달라지는 포토레지스트에서 나타납니다. 램프의 성능이 저하되면 열 관리가 어려워지고, 결과적으로 폐기물이...