탄소섬유 적외선 램프 제조장
클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 청정실을 운영하고 있다면, 미세한 이물질이 발생하는 문제가 얼마나 골칫거리인지 잘 알 것입니다. 작은 조각 하나나 저품질의 가열 요소에서 나오는 가스만으로도 웨이퍼나 광학 코팅이 망가질 수 있습니다....
탄소 나노튜브 제조용 히터
리소그래피 공정에서는 수율이 몇 도의 차이로 결정됩니다. 소프트 베이크 과정에서 2°C만큼의 온도 변동이 생겨도 CD 제어에 문제가 생기며, 균일하지 않은 경화 과정은 선가장자리의 거칠음을 유발합니다. 그래서 우리는 웨이퍼 건조, 포토레지스트 예비 베이크, 하드 베이...