선형 적외선 가열 방출기

라인에서 웨이퍼는 기다리지 않는다. 몇 초 정도, 어쩌면 그 정도의 시간 안에 포토레지스트는 이전 로트와 다음 로트와 동일한 온도 프로파일을 경험해야 한다. 소프트 베이크, 하드 베이크. 열 예산은 촘촘하며 허용 가능한 에너지 범위는 밀리줄 단위로 측정된다. 뜨거운...