웨이퍼 레벨 패키징 히터 팬 아웃

라인 상에서 FOWLP는 열 예산을 한계까지 밀어붙인다. 리플로우 또는 에폭시 경화 중 한 곳에서 과열이 발생하면, 넓은 펜아웃 다이는 미끄러지기 시작한다. 기존 히터는 온도 편차가 생기고, 패널 전반에 걸친 온도 분포는 휨, 기포, 약한 인터커넥트로 나타난다. 여기...