제조 현장에서 RTP 공정에 사용되는 램프 중 하나가 고장 나면, 단순히 해당 기계만 멈추는 것이 아니라 전체 생산 라인이 중단됩니다. 웨이퍼의 열 처리 과정도 제대로 이루어지지 않습니다. 포토레지스트의 특성도 변질됩니다. 그 결과, CD 제어 및 필름 두께의 일관성...

제조 공장에서는 열 변동이 발생할 때 아무런 경고 신호도 주어지지 않습니다. 이러한 문제는 치명적인 치수 변화, 벽면에 생기는 스트라이어들, 그리고 로트마다 성능이 달라지는 포토레지스트에서 나타납니다. 램프의 성능이 저하되면 열 관리가 어려워지고, 결과적으로 폐기물이...