진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터
진공 적외선을 활용한 반도체 가공 과정에서의 탄소 배출 감소
반도체를 제조할 때는 정밀도가 매우 중요합니다. 하지만 고진공 환경에서 이를 수행하는 것은 에너지 관점에서 보면 엄청난 부담이 됩니다. 대부분의 공장들은 여전히 저항식 난방 방식을 사용하는데, 이는 마치 전...
진공 챔버용 적외선 히터
반제품의 탄소 배출을 줄이는 방법: 왜 진공 IR 히터가 효과적인가요?
먼저 열 관리에 대해 이야기해보겠습니다. 반도체 공장에서는 열 관리가 매우 중요합니다. 하지만 여전히 기존의 저항식 가열 방식을 사용한다면, 단 하나의 웨이퍼를 적절한 온도로 만들기 위해 전체 챔...