오존 없는 적외선 램프

반도체 처리 과정에서 오존을 제거하는 방법 반도체를 제조할 때 “청결”은 단순한 선호사항이 아니라 매우 중요한 요소입니다. 건조 및 경화 과정에서는 어떤 잔여물도 남겨져서는 안 됩니다. 잔류물도, 화학물질도, 아무것도 없어야 합니다. 문제는 기존의 가열 방식들이 오늘...