반도체 처리 과정에서 오존을 제거하는 방법
반도체를 제조할 때 “청결”은 단순한 선호사항이 아니라 매우 중요한 요소입니다. 건조 및 경화 과정에서는 어떤 잔여물도 남겨져서는 안 됩니다. 잔류물도, 화학물질도, 아무것도 없어야 합니다.
문제는 기존의 가열 방식들이 오늘날의 친환경적이고 납이 없는 규정들을 충족시키지 못한다는 점입니다. 바로 여기서 오존이 발생하지 않는 적외선 램프가 유용해집니다.
“일반적인” 적외선 램프의 문제점
일반적인 단파 적외선 램프는 185nm에서 250nm 범위의 광선을 방출합니다. 이 광선이 공기 중의 산소와 만나면 오존이 생성됩니다.
클린룸에서 오존은 큰 문제입니다. 오존은 섬세한 부품들을 손상시키고, 그곳에서 일하는 사람들에게 유해한 환경을 만듭니다.
이 문제를 해결하기 위해 우리는 선택적 필터 코팅이 적용된 특수한 석영 커버를 사용했습니다. 이것은 마치 보호막과 같아서 오존을 생성하는 자외선은 차단하지만 열은 그대로 통과시킵니다. 그래서 필요한 열은 얻으면서도 화학적 오염물질은 전혀 생기지 않습니다.
설치 방법
이 램프들은 작은 공간 안에 많은 열을 생성합니다. 에너지가 대류가 아닌 복사 형태로 전달되기 때문에, 전체 챔버를 가열하는 데 시간이 낭비되지 않습니다. 그저 기판만 가열하면 됩니다. 이는 에너지 비용을 줄이는 데 큰 도움이 됩니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 전력 밀도를 잘 관리해야 합니다. 경화 속도를 높이기 위해 고출력 램프를 사용하면 온도가 매우 높아질 수 있습니다. 그러므로 냉각팬과 히트싱크가 이러한 부담을 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 석영이 깨지거나 연결부가 녹을 수 있으며, 이는 월요일 아침에 처리해야 할 문제가 됩니다.
실제 활용 사례
실제로 사람들은 납땜 마스크를 경화하거나 포토레지스트를 건조할 때 기존의 구식 대류式 오븐 대신 이 램프들을 사용하고 있습니다.
설치도 간단합니다. 공기 중의 오존을 제거하기 위해 크고 비싼 환기 시스템을 설치할 필요가 없습니다. 그저 램프를 연결하고 설정만 하면 기판이 몇 초 안에 적절한 온도에 도달합니다.
더욱 청결하고 빠르며, 전 세계적인 친환경 기준에도 부합합니다.