글로브박스 적외선 히터 소자

반도체 글러브박스 내의 열 처리 문제 해결법 문제는 이렇습니다. 글러브박스 내부를 가열하려 할 때, 대류 현상이 가장 큰 장애물이 됩니다. 일반적인 저항식 히터를 사용하면, 글러브박스 내의 공기 전체가 따뜻해집니다. 그로 인해 장비의 벽면들이 거대한 방열판 역할을 하...